د تنتالم کاربایډ لیپت شوی سوسیپټر ملاتړ پلیټیو susceptor یا مالتړ جوړښت دی چې د یو پتلی پرت سره پوښل شویtantalum کاربایډ. دا کوټ د سوسیپټر سطح باندې د تخنیکونو لکه د فزیکي بخار جمع کول (PVD) یا کیمیاوي بخار جمع کول (CVD) لخوا رامینځته کیدی شي ، چې ساسپټر ته غوره ملکیتونه ورکوي.tantalum کاربایډ.
سیمیسیرا د مختلف اجزاو او کیریرونو لپاره ځانګړي ټنټلم کاربایډ (TaC) کوټینګونه چمتو کوي.د سیمیسیرا مخکښ کوټینګ پروسه د ټنټلم کاربایډ (TaC) کوټینګونو ته وړتیا ورکوي ترڅو لوړ پاکوالي ، د تودوخې لوړ ثبات او لوړ کیمیاوي زغم ترلاسه کړي ، د SIC/GAN کرسټالونو او EPI پرتونو د محصول کیفیت ښه کوي (د ګرافیت لیپت شوي TaC سوسیپټر)، او د کلیدي ریکټور اجزاو ژوند اوږدول. د ټینټالم کاربایډ ټیک کوټینګ کارول د څنډې ستونزې حل کول او د کرسټال ودې کیفیت ښه کول دي ، او سیمیسرا د ټینټالم کاربایډ کوټینګ ټیکنالوژۍ (CVD) په بریالیتوب سره حل کړې ، نړیوالې پرمختللي کچې ته رسیدلي.
د ټنټلم کاربایډ لیپت شوي بیس ملاتړ پلیټونو اصلي ځانګړتیاوې عبارت دي له:
1. د تودوخې لوړ ثبات: تانتالم کاربایډ د تودوخې عالي ثبات لري ، د لیپت شوي بیس ملاتړ پلیټ د لوړې تودوخې کاري چاپیریال کې د ملاتړ اړتیاو لپاره مناسب کوي.
2. د زنګون مقاومت: د تانتالم کاربایډ کوټینګ د ښه سنزري مقاومت لري، کولی شي د کیمیاوي ککړتیا او اکسیډریشن په وړاندې مقاومت وکړي، او د اډې د خدمت ژوند اوږدوي.
3. لوړ سختی او د لباس مقاومت: د ټنټلم کاربایډ کوټینګ لوړه سختۍ د بیس ملاتړ پلیټ ته ښه لباس مقاومت ورکوي، کوم چې د هغو مواردو لپاره مناسب دی چې د لوړ پوښ مقاومت ته اړتیا لري.
4. کیمیاوي ثبات: تانتالم کاربایډ د مختلفو کیمیاوي موادو لپاره لوړ ثبات لري، د لیپت شوي بیس ملاتړ پلیټ په ځینو ککړ چاپیریال کې ښه فعالیت کوي.
د TaC سره او پرته
د TaC کارولو وروسته (ښي)
برسېره پر دې، د Semicera'sد TaC پوښ شوي محصولاتپه پرتله د اوږد خدمت ژوند او د لوړې تودوخې مقاومت څرګندويد SiC پوښاک.د لابراتوار اندازه کولو ښودلې چې زموږد TaC پوښونهکولی شي په دوامداره توګه د اوږدې مودې لپاره تر 2300 درجو پورې د تودوخې درجه ترسره کړي. لاندې زموږ د نمونو ځینې مثالونه دي:
