SOI Wafers

لنډ معلومات:

SOI ویفر د سینڈوچ په څیر جوړښت دی چې درې پرتونه لري؛د پورتنۍ طبقې (د وسیلې پرت) په شمول ، د دفن شوي اکسیجن طبقې مینځنۍ برخه (د SiO2 پرت انسول کولو لپاره) او لاندې سبسټریټ (بلک سیلیکون).د SOI ویفرونه د SIMOX میتود او ویفر بانډینګ ټیکنالوژۍ په کارولو سره تولید شوي ، کوم چې پتلی او ډیر دقیق وسیلې پرتونو ، یونیفورم ضخامت او ټیټ عیب کثافت ته اجازه ورکوي.

موږ ته بریښنالیک واستوئ

د محصول تفصیل

د محصول ټګ

SOI ویفرونه(1)

د غوښتنلیک ساحه

1. د لوړ سرعت مدغم سرکټ

2. د مایکروویو وسایل

3. د لوړ حرارت مربوط سرکټ

4. د بریښنا وسایل

5. د ټیټ بریښنا مربوط سرکټ

6. MEMS

7. د ټیټ ولتاژ مدغم سرکیټ

توکي		استدلال
په ټوله کې	د ویفر قطر 晶圆尺寸(mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	رکوع/وارپ 翘曲度(	<10um
	ذرات 颗粒度(	0.3um<30ea
	فلیټونه / نخچه 定位边/定位槽	فلیټ یا نخچ
	د څنډې اخراج 边缘去除(mm)	/
د وسیلې پرت 器件层	د وسیلې پرت ډول/ډوپانټ 器件层掺杂类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb/ As
	د وسیلې پرت اورینټیشن 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	د وسیلې پرت ضخامت 器件层厚度(um)	0.1~300um
	د وسیلې پرت مقاومت 器件层电阻率(ohm•cm)	0.001~100,000 ohm-cm
	د وسیلې پرت ذرات 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	د وسیلې پرت TTV 器件层TTV(	<10um
	د وسیلې پرت پای 器件层表面处理	پالش
بکس	د تودوخې اکسایډ ضخامت دفن شوی 埋氧层厚度(um)	50nm(500Å) ~ 15um
لاسي پرت 衬底	د ویفر ډول/ډوپینټ اداره کول 衬底层类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb/ As
	د ویفر اورینټیشن اداره کول 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	د Wafer مقاومت سمبالول 衬底电阻率(ohm•cm)	0.001~100,000 ohm-cm
	د ویفر ضخامت سمبال کړئ 衬底厚度(um)	>100m
	د ویفر پای سمبال کړئ 衬底表面处理	پالش
د هدف مشخصاتو SOI ویفرونه د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.