سالډ SiC فوکس حلقه

د سیمیسیرا څخه د سالډ سی سی فوکس حلقه د پرمختللي سیمی کنډکټر تولید غوښتنې پوره کولو لپاره ډیزاین شوې برخه ده. د لوړ پاکوالي څخه جوړ شویسیلیکون کاربایډ (SiC)، دا د تمرکز حلقه د سیمیکمډکټر صنعت کې د غوښتنلیکونو پراخه لړۍ لپاره مثالی دی ، په ځانګړي توګه په کېد CVD SiC پروسېد پلازما نقاشي، اوICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). د دې د استثنایی پوښاک مقاومت ، لوړ حرارتي ثبات او پاکوالي لپاره پیژندل شوی ، دا د لوړ فشار چاپیریال کې اوږدمهاله فعالیت تضمینوي.

په سیمال کېویفرپروسس کول، د سالډ SiC فوکس حلقې د وچ اینچینګ او ویفر اینچنګ غوښتنلیکونو په جریان کې د دقیق نقاشي ساتلو لپاره خورا مهم دي. د سی سی فوکس حلقه د پروسو په جریان کې د پلازما تمرکز کولو کې مرسته کوي لکه د پلازما اینچنګ ماشین عملیات ، دا د سیلیکون ویفرونو د اینچ کولو لپاره لازمي ګرځوي. جامد SiC مواد د تخریب په وړاندې بې ساري مقاومت وړاندې کوي، ستاسو د تجهیزاتو اوږدمهاله تضمین کوي ​​​​او د وخت کمولو وخت کموي، کوم چې د سیمیکمډکټر جوړونې کې د لوړې کچې ساتلو لپاره اړین دی.

د سیمیسیرا څخه د سالډ سی سی فوکس حلقه انجینر شوې ترڅو د تودوخې او تیریدونکي کیمیاوي موادو سره مقاومت وکړي چې معمولا د سیمی کنډکټر صنعت کې ورسره مخ کیږي. دا په ځانګړي ډول د لوړ دقیق کارونو لکه د کارولو لپاره جوړ شوید CVD SiC کوټینګونه، چیرې چې پاکوالي او دوام خورا مهم دي. د تودوخې شاک په وړاندې د غوره مقاومت سره، دا محصول په سختو شرایطو کې ثابت او باثباته فعالیت تضمینوي، په شمول د لوړې تودوخې سره مخ کیدلویفرد نقاشۍ پروسې.