د سیمیسیرا څخه د سالډ سی سی فوکس حلقه د پرمختللي سیمی کنډکټر تولید غوښتنې پوره کولو لپاره ډیزاین شوې برخه ده. د لوړ پاکوالي څخه جوړ شویسیلیکون کاربایډ (SiC)، دا د تمرکز حلقه د سیمیکمډکټر صنعت کې د غوښتنلیکونو پراخه لړۍ لپاره مثالی دی ، په ځانګړي توګه په کېد CVD SiC پروسېد پلازما نقاشي، اوICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). د دې د استثنایی پوښاک مقاومت ، لوړ حرارتي ثبات او پاکوالي لپاره پیژندل شوی ، دا د لوړ فشار چاپیریال کې اوږدمهاله فعالیت تضمینوي.
په سیمال کېویفرپروسس کول، د سالډ SiC فوکس حلقې د وچ اینچینګ او ویفر اینچنګ غوښتنلیکونو په جریان کې د دقیق نقاشي ساتلو لپاره خورا مهم دي. د سی سی فوکس حلقه د پروسو په جریان کې د پلازما تمرکز کولو کې مرسته کوي لکه د پلازما اینچنګ ماشین عملیات ، دا د سیلیکون ویفرونو د اینچ کولو لپاره لازمي ګرځوي. جامد SiC مواد د تخریب په وړاندې بې ساري مقاومت وړاندې کوي، ستاسو د تجهیزاتو اوږدمهاله تضمین کوي او د وخت کمولو وخت کموي، کوم چې د سیمیکمډکټر جوړونې کې د لوړې کچې ساتلو لپاره اړین دی.
د سیمیسیرا څخه د سالډ سی سی فوکس حلقه انجینر شوې ترڅو د تودوخې او تیریدونکي کیمیاوي موادو سره مقاومت وکړي چې معمولا د سیمی کنډکټر صنعت کې ورسره مخ کیږي. دا په ځانګړي ډول د لوړ دقیق کارونو لکه د کارولو لپاره جوړ شوید CVD SiC کوټینګونه، چیرې چې پاکوالي او دوام خورا مهم دي. د تودوخې شاک په وړاندې د غوره مقاومت سره، دا محصول په سختو شرایطو کې ثابت او باثباته فعالیت تضمینوي، په شمول د لوړې تودوخې سره مخ کیدلویفرد نقاشۍ پروسې.
د سیمیکمډکټر غوښتنلیکونو کې ، چیرې چې دقیقیت او اعتبار کلیدي دي ، د سولیډ سی سی فوکس حلقه د ایچنګ پروسو عمومي موثریت لوړولو کې مهم رول لوبوي. د دې قوي، لوړ فعالیت ډیزاین دا د صنعتونو لپاره غوره انتخاب جوړوي چې د لوړ پاکوالي اجزاو ته اړتیا لري چې په سختو شرایطو کې ترسره کوي. ایا په کې کارول کیږيد CVD SiC حلقهغوښتنلیکونه یا د پلازما ایچ کولو پروسې برخې په توګه ، د سیمیسرا سالډ سی سی فوکس حلقه ستاسو د تجهیزاتو فعالیت غوره کولو کې مرسته کوي ، د اوږد عمر او اعتبار وړاندیز کوي ستاسو د تولید پروسې غوښتنې.
کلیدي ځانګړتیاوې:
• غوره لباس مقاومت او لوړ حرارتي ثبات
• د اوږد عمر لپاره د لوړ پاکوالي جامد SiC مواد
• د پلازما اینچنګ، ICP RIE، او وچ اینچنګ غوښتنلیکونو لپاره غوره
• د ویفر اینچنګ لپاره مناسب، په ځانګړې توګه د CVD SiC پروسو کې
• په سخت چاپیریال او لوړه تودوخه کې د باور وړ فعالیت
• د سیلیکون ویفرونو په نقاشۍ کې دقیقیت او موثریت یقیني کوي
غوښتنلیکونه:
• د سیمی کنډکټر په تولید کې د CVD SiC پروسې
• د پلازما اینچنګ او ICP RIE سیسټمونه
• د خیټې د وچولو او ویفر اینچنګ پروسې
• د پلازما د نقاشۍ ماشینونو کې ایچنګ او جمع کول
• د ویفر حلقو او CVD SiC حلقو لپاره دقیق اجزا
د CVD SiC سطح مایکروسکوپیک مورفولوژي
د CVD SiC کراس برخې مایکروسکوپیک مورفولوژي
