د یو له اصلي برخو څخهد MOCVD تجهیزاتد ګرافیت اساس د سبسټریټ کیریر او تودوخې بدن دی ، کوم چې په مستقیم ډول د فلم موادو یووالي او پاکوالي ټاکي ، نو د دې کیفیت مستقیم د epitaxial شیټ په چمتو کولو اغیزه کوي ، او په ورته وخت کې د شمیر زیاتوالي سره. کارول او د کاري شرایطو بدلون، دا د اغوستل خورا اسانه دي، د مصرفي توکو پورې اړه لري.
که څه هم ګرافیت غوره حرارتي چالکتیا او ثبات لري ، دا د اساس اجزا په توګه ښه ګټه لريد MOCVD تجهیزات، مګر د تولید په پروسه کې ، ګرافیټ به د فاضله ګازونو او فلزي ارګانیکونو د پاتې کیدو له امله پاؤډ خراب کړي ، او د ګرافائٹ بیس خدمت ژوند به خورا کم شي.په ورته وخت کې، د راټیټ ګرافائٹ پوډر به چپ ته د ککړتیا لامل شي.
د کوټینګ ټیکنالوژۍ رامینځته کیدل کولی شي د سطحې پاؤډ فکسیشن چمتو کړي ، تودوخې چالکتیا ته وده ورکړي ، او د تودوخې توزیع مساوي کړي ، کوم چې د دې ستونزې حل کولو اصلي ټیکنالوژي ګرځیدلې.د ګرافیت اساسد MOCVD تجهیزاتد چاپیریال څخه کار واخلئ، د ګرافیت بیس سطح پوښښ باید لاندې ځانګړتیاوې پوره کړي:
(1) د ګرافیت اساس په بشپړ ډول پوښل کیدی شي ، او کثافت یې ښه دی ، که نه نو د ګرافیت اساس په کنسرو ګاز کې د زنګ وهلو لپاره اسانه دی.
(2) د ګرافائٹ بیس سره د ترکیب ځواک لوړ دی ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې کوټینګ د څو لوړې تودوخې او ټیټ تودوخې دورې وروسته راټیټیدل اسانه ندي.
(3) دا ښه کیمیاوي ثبات لري ترڅو په لوړه تودوخه او ککړه فضا کې د کوټینګ ناکامۍ مخه ونیسي.
SiC د زکام مقاومت، لوړ حرارتي چالکتیا، د تودوخې شاک مقاومت او لوړ کیمیاوي ثبات ګټې لري، او کولی شي د GaN epitaxial اتموسفیر کې ښه کار وکړي.برسېره پر دې، د SiC د تودوخې توسعې کثافات د ګرافیت څخه ډیر لږ توپیر لري، نو SiC د ګرافیت بیس د سطحې پوښښ لپاره غوره مواد دی.
اوس مهال، عام SiC په عمده توګه د 3C، 4H او 6H ډول دی، او د مختلف کرسټال ډولونو د SiC کارول مختلف دي.د مثال په توګه، 4H-SiC کولی شي د لوړ ځواک وسایل تولید کړي؛6H-SiC خورا باثباته دی او کولی شي د فوتو الیکټریک وسایل تولید کړي؛د GaN سره د ورته جوړښت له امله، 3C-SiC د GaN epitaxial پرت تولید او د SiC-GaN RF وسایلو جوړولو لپاره کارول کیدی شي.د 3C-SiC په نوم هم پیژندل کیږيβ-SiC، او یو مهم استعمالβ-SiC د فلم او کوټینګ موادو په توګه دی، نوβ-SiC اوس مهال د پوښ کولو لپاره اصلي مواد دي.
د پوسټ وخت: نومبر-06-2023