د سیمیکمډکټر سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل ډیسک سپړنه: د فعالیت ګټې او د غوښتنلیک امکانات

د بریښنایی ټیکنالوژۍ په نننۍ برخه کې ، سیمیکمډکټر توکي خورا مهم رول لوبوي.د دوی په مینځ کې ، سیلیکون کاربایډ (SiC) د پراخه بینډ ګیپ سیمیکمډکټر موادو په توګه ، د دې عالي فعالیت ګټو سره ، لکه د لوړ ماتولو بریښنایی ساحې ، لوړ سنتریت سرعت ، لوړ حرارتي چالکتیا او نور ، ورو ورو د څیړونکو او انجینرانو تمرکز کیږي.د سیلیکون کاربایډ epitaxial ډیسک، د هغې د یوې مهمې برخې په توګه، د غوښتنلیک عالي وړتیا ښودلې.

ICP 刻蚀托盘 ICP ایچنګ ټری
一、epitaxial disk فعالیت: بشپړ ګټې
1. د الټرا-لوړ برقی برقی ساحه: د دودیز سیلیکون موادو په پرتله، د سیلیکون کاربایډ ماتولو بریښنایی ساحه له 10 څخه ډیر دی.دا پدې مانا ده چې د ورته ولتاژ شرایطو لاندې، بریښنایی وسایل چې د سیلیکون کاربایډ اپیټیکسیل ډیسک کاروي کولی شي د لوړو جریانونو سره مقاومت وکړي، په دې توګه د لوړ ولتاژ، لوړ فریکونسۍ، لوړ بریښنا بریښنایی وسایل رامینځته کوي.
2. د لوړ سرعت سنتریشن سرعت: د سیلیکون کاربایډ د سنتریت سرعت د سیلیکون څخه 2 ځله ډیر دی.د لوړې تودوخې او لوړ سرعت سره کار کول، د سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل ډیسک ښه فعالیت کوي، کوم چې د بریښنایی وسیلو ثبات او اعتبار ته د پام وړ وده ورکوي.
3. د لوړ موثریت حرارتي چالکتیا: د سیلیکون کاربایډ حرارتي چالکتیا د سیلیکون څخه 3 ځله ډیر دی.دا خصوصیت بریښنایی وسیلو ته اجازه ورکوي چې د دوامداره لوړ بریښنا عملیاتو په جریان کې تودوخه ښه تودوخه وباسي ، پدې توګه د ډیر تودوخې مخه نیسي او د وسیلې خوندیتوب ښه کوي.
4. عالي کیمیاوي ثبات: په سخت چاپیریال کې لکه د تودوخې لوړ فشار، لوړ فشار او قوي وړانګو کې، د سیلیکون کاربایډ فعالیت لاهم د پخوا په څیر باثباته دی.دا خصوصیت د سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل ډیسک وړ کوي ترڅو د پیچلي چاپیریالونو په مقابل کې غوره فعالیت وساتي.
د تولید پروسه: په احتیاط سره نقش شوی
د SIC epitaxial disk د جوړولو اصلي پروسو کې د فزیکي بخار جمع کول (PVD)، د کیمیاوي بخار جمع کول (CVD) او د epitaxial وده شامل دي.د دې پروسې هر یو خپل ځانګړتیاوې لري او د غوره پایلو ترلاسه کولو لپاره د مختلف پیرامیټونو دقیق کنټرول ته اړتیا لري.
1. د PVD پروسه: د تبخیر یا تودوخې او نورو میتودونو په واسطه، د SiC هدف په سبسټریټ کې زیرمه کیږي ترڅو فلم جوړ کړي.د دې میتود لخوا چمتو شوی فلم لوړ پاکوالی او ښه کریسټالینیت لري، مګر د تولید سرعت نسبتا ورو دی.
2. د CVD پروسه: په لوړه تودوخه کې د سیلیکون کاربایډ سرچینې ګاز په کریک کولو سره، دا په سبسټریټ کې زیرمه کیږي ترڅو یو پتلی فلم جوړ کړي.د دې میتود لخوا چمتو شوي فلم ضخامت او یونیفارم د کنټرول وړ دی ، مګر پاکوالی او کرسټالیت ضعیف دی.
3. د Epitaxial وده: د SiC epitaxial پرت وده په مونوکریسټالین سیلیکون یا نورو مونوکریسټالین موادو کې د کیمیاوي بخار د جمع کولو میتود په واسطه.د دې میتود په واسطه چمتو شوی اپیټیکسیل پرت د سبسټریټ موادو سره ښه مطابقت او غوره فعالیت لري ، مګر لګښت یې نسبتا لوړ دی.
三، د غوښتنلیک احتمال: راتلونکی روښانه کړئ
د بریښنا بریښنایی ټیکنالوژۍ دوامداره پرمختګ سره او د لوړ فعالیت او لوړ اعتبار بریښنایی وسیلو لپاره مخ په ډیریدونکي غوښتنې سره ، د سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل ډیسک د سیمیکمډکټر وسیلې تولید کې د پراخه غوښتنلیک امکان لري.دا په پراخه کچه د لوړ فریکونسۍ لوړ بریښنا سیمیکمډکټر وسیلو په جوړولو کې کارول کیږي ، لکه د بریښنا بریښنایی سویچونه ، انورټرونه ، ریکټیفیرونه او نور. سربیره پردې ، دا په پراخه کچه د سولر حجرو ، LED او نورو برخو کې هم کارول کیږي.
د دې ځانګړي فعالیت ګټو او د تولید پروسې دوامداره پرمختګ سره ، د سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل ډیسک په تدریجي ډول د سیمیکمډکټر په ساحه کې خپل لوی ظرفیت ښیې.موږ د دې دلیل لرو چې باور لرو چې د ساینس او ​​ټیکنالوژۍ په راتلونکي کې به ډیر مهم رول ولوبوي.


د پوسټ وخت: نومبر-28-2023