د سیمیسیرا د سی این سیرامیک پلین سبسټریټونه د مختلف بریښنایی او صنعتي غوښتنلیکونو لپاره د لوړ فعالیت حل چمتو کوي. د دوی د غوره تودوخې چلونکي او میخانیکي ځواک لپاره پیژندل شوي، دا فرعي سټیټونه په تقاضا چاپیریال کې د اعتبار وړ عملیات تضمینوي.
زموږ SiN (سیلیکون نایټرایډ) سیرامیکونه د خورا تودوخې او لوړ فشار شرایطو اداره کولو لپاره ډیزاین شوي ، دا د لوړ بریښنا بریښنایی او پرمختللي سیمیکمډکټر وسیلو لپاره مناسب کوي. د دوی دوام او د تودوخې شاک مقاومت دوی په غوښتنلیکونو کې د کارولو لپاره مثالی کوي چیرې چې اعتبار او فعالیت مهم وي.
د سیمیسیرا دقیق تولید پروسې ډاډ ترلاسه کوي چې هر ساده سبسټریټ د کیفیت سخت معیارونه پوره کوي. دا د ثابت ضخامت او سطحې کیفیت سره فرعي سټیټونو پایله کوي ، کوم چې په بریښنایی مجلسونو او سیسټمونو کې د غوره فعالیت ترلاسه کولو لپاره اړین دي.
د دوی د تودوخې او میخانیکي ګټو سربیره، د SiN سیرامیک پلین سبسټریټونه د بریښنایی موصلیت غوره ملکیتونه وړاندیز کوي. دا لږترلږه بریښنایی مداخله تضمینوي او د بریښنایی اجزاو عمومي ثبات او موثریت کې مرسته کوي ، د دوی عملیاتي عمر لوړوي.
د سیمیسیرا د سی این سیرامیک پلین سبسټریټونو په غوره کولو سره ، تاسو یو محصول غوره کوئ چې پرمختللي مادي ساینس د لوړ پوړ تولید سره ترکیب کوي. د کیفیت او نوښت په اړه زموږ ژمنتیا تضمین کوي چې تاسو فرعي سټیټونه ترلاسه کوئ چې د صنعت لوړ معیارونه پوره کوي او ستاسو د پرمختللي ټیکنالوژۍ پروژو بریالیتوب ملاتړ کوي.
| توکي | تولید | څیړنه | ډمی |
| کرسټال پارامترونه | |||
| پولیټیپ | 4H | ||
| د سطحې د اوریدو تېروتنه | <11-20>4±0.15° | ||
| برقی پیرامیټونه | |||
| ډوپانت | د نايتروجن ډول | ||
| مقاومت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| میخانیکي پارامترونه | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| موټی | 350±25 μm | ||
| لومړني فلیټ لوري | [1-100]±5° | ||
| لومړني فلیټ اوږدوالی | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فلیټ | هیڅ نه | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| رکوع | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| مخکی (سی-مخ) خړپړتیا (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| جوړښت | |||
| د مایکروپیپ کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| فلزي ناپاکۍ | ≤5E10اټومونه/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| د مخکینۍ کیفیت | |||
| مخکی | Si | ||
| د سطحې پای | سی-مخ CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/وافر (سایز≥0.3μm) | NA | |
| سکریچونه | ≤5ea/mm مجموعي اوږدوالی ≤ قطر | مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA |
| د نارنجي پوټکي / خندقونه / داغونه / درزونه / درزونه / ککړتیا | هیڅ نه | NA | |
| د څنډې چپس/انډینټ/فریکچر/هیکس پلیټونه | هیڅ نه | ||
| پولی ډوله سیمې | هیڅ نه | مجموعي ساحه≤20% | مجموعي ساحه≤30% |
| د مخ لیزر نښه کول | هیڅ نه | ||
| بیرته کیفیت | |||
| بیرته پای | C-مخ CMP | ||
| سکریچونه | ≤5ea/mm، مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA | |
| د شا عیبونه (د څنډه چپس/انډینټ) | هیڅ نه | ||
| شاته خړپړتیا | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| شاته لیزر نښه کول | 1 ملي متره (له پورتنۍ څنډې څخه) | ||
| څنډه | |||
| څنډه | چمفر | ||
| بسته بندي | |||
| بسته بندي | Epi د ویکیوم بسته بندۍ سره چمتو دی ملټي ویفر کیسټ بسته بندي | ||
| *یادښتونه: "NA" پدې معنی چې هیڅ غوښتنه نشته هغه توکي چې ذکر شوي ندي ممکن SEMI-STD ته مراجعه وکړي. | |||
