سیمیکراد وړاندیز کولو څخه خوښ دید PFA کیسیټ، په چاپیریال کې د ویفر اداره کولو لپاره غوره انتخاب چیرې چې کیمیاوي مقاومت او دوام خورا مهم دی. د لوړ پاکوالي Perfluoroalkoxy (PFA) موادو څخه جوړ شوی، دا کیسټ ډیزاین شوی ترڅو د سیمیکمډکټر جوړونې کې خورا اړین شرایطو سره مقاومت وکړي، ستاسو د ویفرونو خوندیتوب او بشپړتیا ډاډمن کوي.
بې ساري کیمیاوي مقاومتدد PFA کیسیټد کیمیاوي موادو پراخه لړۍ ته د غوره مقاومت چمتو کولو لپاره انجینر شوی ، دا د پروسو لپاره غوره انتخاب رامینځته کوي چې تیرونکي اسیدونه ، محلولونه او نور سخت کیمیاوي توکي پکې شامل وي. دا قوي کیمیاوي مقاومت ډاډ ورکوي چې کیسټ حتی په خورا ککړ چاپیریال کې هم ثابت او فعال پاتې کیږي، په دې توګه خپل عمر اوږدوي او د پرله پسې بدیلونو اړتیا کموي.
د لوړ پاکوالي ساختمانيسیمیسراد PFA کیسیټد الټرا خالص PFA موادو څخه جوړ شوی، کوم چې د ویفر پروسس کولو پرمهال د ککړتیا مخنیوي کې مهم دی. دا لوړ پاکوالی ساختمان د ذرو د تولید او کیمیاوي لیچ کولو خطر کموي، دا ډاډه کوي چې ستاسو ویفرونه د ناپاکۍ څخه خوندي دي چې کولی شي د دوی کیفیت سره موافقت وکړي.
ښه دوام او فعالیتد پایښت لپاره ډیزاین شوی، دد PFA کیسیټد خورا تودوخې او سخت پروسس شرایطو لاندې خپل جوړښت بشپړتیا ساتي. که چیرې د لوړې تودوخې سره مخ وي یا د بار بار اداره کولو تابع وي ، دا کیسټ خپل شکل او فعالیت ساتي ، د تولید چاپیریال غوښتنې کې د اوږدې مودې اعتبار وړاندیز کوي.
د خوندي اداره کولو لپاره دقیق انجینريدد سیمیسرا PFA کیسیټدقیق انجینري ځانګړتیاوې لري چې خوندي او مستحکم ویفر اداره کول ډاډمن کوي. هر سلاټ په احتیاط سره ډیزاین شوی ترڅو ویفرونه په خوندي ډول ځای په ځای کړي، د هر ډول حرکت یا بدلون مخه ونیسي چې د زیان لامل کیدی شي. دا دقیق انجینري د دوامداره او دقیق ویفر ځای پرځای کولو ملاتړ کوي ، د پروسې عمومي موثریت کې مرسته کوي.
د پروسو په اوږدو کې څو اړخیز غوښتنلیکد دې غوره مادي ملکیتونو څخه مننه ، دد PFA کیسیټد سیمی کنډکټر جوړونې په مختلفو مرحلو کې د کارولو لپاره کافي هر اړخیز دی. دا په ځانګړې توګه د لوند ایچنګ، کیمیاوي بخار ذخیره (CVD) او نورو پروسو لپاره مناسب دی چې سخت کیمیاوي چاپیریال پکې شامل وي. د دې تطابق دا د پروسې بشپړتیا او ویفر کیفیت ساتلو کې لازمي وسیله ګرځوي.
کیفیت او نوښت ته ژمنتیاپه Semicera کې، موږ ژمن یو چې محصولات چمتو کړو چې د صنعت لوړ معیارونه پوره کړي. دد PFA کیسیټد دې ژمنې مثال ورکوي، د باور وړ حل وړاندیز کوي چې ستاسو د تولید پروسو کې په بې ساري ډول مدغم کوي. هر کیسټ د کیفیت سخت کنټرول څخه تیریږي ترڅو ډاډ ترلاسه کړي چې دا زموږ د سخت فعالیت معیارونه پوره کوي، هغه غوره والی وړاندې کوي چې تاسو یې د سیمیرا څخه تمه لرئ.
| توکي | تولید | څیړنه | ډمی |
| کرسټال پارامترونه | |||
| پولیټیپ | 4H | ||
| د سطحې د اوریدو تېروتنه | <11-20>4±0.15° | ||
| برقی پیرامیټونه | |||
| ډوپانت | د نايتروجن ډول | ||
| مقاومت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| میخانیکي پارامترونه | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| موټی | 350±25 μm | ||
| لومړني فلیټ لوري | [1-100]±5° | ||
| لومړني فلیټ اوږدوالی | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فلیټ | هیڅ نه | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| رکوع | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| مخکی (سی-مخ) خړپړتیا (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| جوړښت | |||
| د مایکروپیپ کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| فلزي ناپاکۍ | ≤5E10اټومونه/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| د مخکینۍ کیفیت | |||
| مخکی | Si | ||
| د سطحې پای | سی-مخ CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/وافر (سایز≥0.3μm) | NA | |
| سکریچونه | ≤5ea/mm مجموعي اوږدوالی ≤ قطر | مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA |
| د نارنجي پوټکي / خندقونه / داغونه / درزونه / درزونه / ککړتیا | هیڅ نه | NA | |
| د څنډې چپس/انډینټ/فریکچر/هیکس پلیټونه | هیڅ نه | ||
| پولی ډوله سیمې | هیڅ نه | مجموعي ساحه≤20% | مجموعي ساحه≤30% |
| د مخ لیزر نښه کول | هیڅ نه | ||
| بیرته کیفیت | |||
| بیرته پای | C-مخ CMP | ||
| سکریچونه | ≤5ea/mm، مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA | |
| د شا عیبونه (د څنډه چپس/انډینټ) | هیڅ نه | ||
| شاته خړپړتیا | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| شاته لیزر نښه کول | 1 ملي متره (له پورتنۍ څنډې څخه) | ||
| څنډه | |||
| څنډه | چمفر | ||
| بسته بندي | |||
| بسته بندي | Epi د ویکیوم بسته بندۍ سره چمتو دی ملټي ویفر کیسټ بسته بندي | ||
| *یادښتونه: "NA" پدې معنی چې هیڅ غوښتنه نشته هغه توکي چې ذکر شوي ندي ممکن SEMI-STD ته مراجعه وکړي. | |||
