د ویفر کیریر پیژندنه
د محصول کټګوري
▶د PECVD او TALOX پروسې لپاره د ویفر کیریر سیسټم
• PECVD او TALOX ګرافایټ کښتۍ (M4~M12)
• عمودی SM-بوټ (M4, M6)
• امپلانټ او شاور ګرافیت برخه (M4~M6)
• C/C ټری او سیرامیک پوښ
• فلزي RIE-ټری او د سیرامیک پوښ
• د ویکیوم سیل کول: O-Ring او SQ-Ring
▶د جوړښت او لوند ایچنګ لیږد پروسه
• LSC H-کیریر یا کیسټ (M4~M12)
• LSC V-کیریر یا کیسټ (M4~M12)
• ASC کیریر یا کیسټ (M4, M6)
• د W/F کیریر او ذخیره کولو بکس (M4~M12)
• د ټرانسپورټ ویل (رولر) لړۍ
▶د سولر سیل کیریر او فلزي کیریر
• TRC کیریر یا کیسیټ (M4~M12)
• مجله (د بیلټ سره)
د ګرافیت کښتۍ (H-ډول)
19P6-216CT (WF M4~M12)
د ګرافیت کښتۍ (H-ډول)
21P6-240CT WF M4~M12)
د ګرافیت کښتۍ (H-ډول)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
د ګرافیت کښتۍ (H-ډول)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
د ګرافیت کښتۍ (H-ډول)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
د WF کیریر او ذخیره کولو بکس (~M12)
C/C ټری یا بار وړونکی (M4~M10)
C/C ټری یا بار وړونکی (M4~M10)
عمودی کښتۍ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC کیریر (~M6)
TRC وړونکی (~M12)
TRC وړونکی (~M12)
ګرافیت کښتۍ (M12)
د PECVD پروسې لپاره د ویفر کیریر سیسټم
▶ د ګرافیت کښتۍ (CT ډیزاین شوی) M10/M12 پروسه
• د ځانګړي ډیزاین مفهوم
▶ د ګرافیت کښتۍ (CT ډیزاین شوی) M4/M6 پروسه
▶ د کښتۍ لوازم پرزې
▶ عمودی کښتۍ - 161.7mm ویفر
▶ عمودی کښتۍ - 166mm ویفر
▶ عمودی کښتۍ - 161.7mm، 166mm ویفر
د سولر سیل کیریر او فلزي TRC کیریر
ډول: اتومات
د ویفر اندازه: ① 156×156mm ② 156.75×156.75mm
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
کارول: کیری (کیسیټ)
وړتیا: 100 پاڼه
PITCH: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
ابعاد: نږدې 559×220×220mm
نږدې 712×260×260mm
ګټه: اتموسفیر
مواد: شعله، د غاړې بار المونیم (انوډیز کولو)
د غاړې پلیټ-پوم (انټيسټاټیک)
د لاندې بار پوښ - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC - فلزي وړونکي (د کارونکي کرښه)
TRC - فلزي وړونکي (د کارونکي کرښه)
TRC - فلزي وړونکي (د کارونکي کرښه)
د شاور پلیټ او امپلانټ، بار وړونکی
