دMOCVDمیتود یو له خورا باثباته پروسو څخه دی چې اوس مهال په صنعت کې د لوړ کیفیت واحد کریسټالین پتلی فلمونو وده کولو لپاره کارول کیږي ، لکه د واحد مرحله InGaN ایپیلیرونه ، III-N مواد ، او سیمیکمډکټر فلمونه د څو کوانټم څاه جوړښتونو سره ، او په صنعت کې خورا مهم اهمیت لري. د سیمیکمډکټر او آپټو الکترونیکي وسایلو تولید.
دد SIC کوټینګ MOCVD سوسیپټریو ځانګړی ویفر هولډر دی چې د سیلیکون کاربایډ (SiC) سره پوښل شوی دیepitaxial د فلزي عضوي کیمیاوي بخار ذخیره (MOCVD) پروسې کې وده.
د SiC کوټینګ عالي کیمیاوي مقاومت او حرارتي ثبات لري ، دا د MOCVD سوسیپټرونو لپاره غوره انتخاب رامینځته کوي چې د epitaxial ودې پروسې غوښتنې کې کارول کیږي.
د MOCVD پروسې کلیدي برخه سوسیپټر دی، کوم چې د تولید شوي پتلي فلمونو یووالي او کیفیت ډاډمن کولو لپاره کلیدي عنصر دی.
شکمن څه شی دی؟ سوسیپټر یوه ځانګړې برخه ده چې د MOCVD پروسې کې کارول کیږي ترڅو د فرعي سټرایټ ملاتړ او تودوخې لپاره چیرې چې پتلی فلم زیرمه شوی وي. دا ډیری دندې لري، پشمول د بریښنایی مقناطیسي انرژي جذب کول، په تودوخه بدلول، او په مساوي توګه په فرعي برخه کې تودوخه توزیع کول. دا یونیفورم تودوخه د دقیق ضخامت او ترکیب سره د یونیفورم پتلی فلمونو ودې لپاره اړین دی.
د اختلاطاتو ډولونه:
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors اکثرا د محافظتي طبقې سره پوښل کیږي لکهسیلیکون کاربایډ (SiC)، کوم چې د دې لوړ حرارتي چالکتیا او ثبات لپاره پیژندل کیږي. دد SiC پوښیو سخت، محافظتي سطح چمتو کوي چې په لوړه تودوخه کې د زنګ او تخریب مقاومت کوي.
2. د سیلیکون کاربایډ (SiC) susceptors: دا susceptors په بشپړه توګه د SiC څخه جوړ شوي او غوره حرارتي ثبات لري او مقاومت لري. د SiC susceptors په ځانګړي ډول د لوړ تودوخې پروسو او ککړ چاپیریال لپاره مناسب دي.
په MOCVD کې شکمنونکي څنګه کار کوي:
د MOCVD په پروسه کې، مخکیني د عکس العمل خونې ته معرفي کیږي چیرې چې دوی تخریب کیږي او په سبسټریټ کې یو پتلی فلم جوړوي. سوسیپټر د دې ډاډ ترلاسه کولو سره حیاتي رول لوبوي چې سبسټریټ په مساوي ډول تودوخه کیږي ، کوم چې د ټول سبسټریټ سطح کې د ثابت فلم ملکیتونو ترلاسه کولو لپاره مهم دی. د سوسیپټر مواد او ډیزاین په دقت سره غوره شوي ترڅو د ذخیره کولو پروسې ځانګړي اړتیاوې پوره کړي ، لکه د تودوخې حد او کیمیاوي مطابقت.
د لوړ کیفیت لرونکي سوسیپټرونو کارولو ګټې:
• د فلم کیفیت لوړ شوی: د تودوخې یونیفورم توزیع چمتو کولو سره، سوسیپټر د ثابت ضخامت او جوړښت سره د فلمونو ترلاسه کولو کې مرسته کوي، کوم چې د سیمی کنډکټر وسیلو فعالیت لپاره مهم دی.
• د پروسې موثریت ښه شوی: د لوړ کیفیت شکونکي د نیمګړتیاو احتمال کمولو او د کار وړ فلمونو حاصلاتو په زیاتولو سره د MOCVD پروسې عمومي موثریت زیاتوي.
• عمر او اعتبار: د پایښت لرونکي موادو څخه جوړ شوي سکسپټرونه لکه SiC اوږدمهاله اعتبار تضمینوي او د ساتنې لګښتونه کموي.
سوسیپټر د MOCVD پروسې کې یوه لازمي برخه ده او په مستقیم ډول د پتلي فلم زیرمه کولو کیفیت او موثریت اغیزه کوي. د شته اندازو، MOCVD شکمنو او قیمتونو په اړه د نورو معلوماتو لپاره، مهرباني وکړئ له موږ سره اړیکه ونیسئ. زموږ انجنیران به خوشحاله وي چې تاسو ته د مناسبو موادو په اړه مشوره درکړي او ستاسو ټولو پوښتنو ته ځواب ووایي.
تلیفون: +86-13373889683
واټساپ: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
د پوسټ وخت: اګست-12-2024