د فلزي - عضوي کیمیاوي بخار زیرمه (MOCVD) د سیمیکمډکټر صنعت کې یوه مهمه پروسه ده ، چیرې چې د لوړ کیفیت پتلي فلمونه په فرعي برخو کې زیرمه کیږي. د MOCVD پروسې کلیدي برخه susceptor دی، یو حیاتي عنصر دی چې د تولید شوي فلمونو د یووالي او کیفیت په یقیني کولو کې مهم رول لوبوي.
Susceptor څه شی دی؟ سوسیپټر یوه ځانګړې برخه ده چې د MOCVD پروسې کې کارول کیږي ترڅو د فرعي سټرایټ مالتړ او تودوخې لپاره په کوم کې چې پتلي فلمونه زیرمه شوي وي. دا ډیری دندې ترسره کوي ، پشمول د بریښنایی مقناطیسي انرژي جذب کول ، تودوخې ته بدلول ، او په مساوي ډول د دې تودوخې په ټول سټراټ کې توزیع کول. دا یونیفورم تودوخه د دقیق ضخامت او ترکیب سره د همجنس فلمونو ودې لپاره اړین دی.
د شکمنو ډولونه:
1. Graphite Susceptors: معمولا د محافظتي طبقې سره پوښل شوي، لکهسیلیکون کاربایډ (SiC)د ګرافیت سوسیپټرونه د دوی د لوړ حرارتي چالکتیا او ثبات لپاره پیژندل شوي. دد SiC پوښیو سخت، محافظتي سطح چمتو کوي چې په لوړه تودوخه کې د زنګ او تخریب مقاومت کوي.
2. سیلیکون کاربایډ (SiC) Susceptors: دا په بشپړه توګه د SiC څخه جوړ شوي، د غوره حرارتي ثبات او د اغوستلو مقاومت وړاندې کوي.د SiC شکمنپه ځانګړي توګه د لوړ تودوخې پروسو او ککړ چاپیریال لپاره مناسب دي.
هغه څنګهشکمنپه MOCVD کې کار وکړئ:
د MOCVD په پروسه کې، مخکیني د ریکټور چیمبر ته معرفي کیږي، چیرته چې دوی تخریب کیږي او په سبسټریټ کې یو پتلی فلم جوړوي. سوسیپټر د دې ډاډ ترلاسه کولو سره مهم رول لوبوي چې سبسټریټ په مساوي ډول تودوخه شوی ، کوم چې د ټول سبسټریټ سطح کې د ثابت فلم ملکیتونو ترلاسه کولو لپاره مهم دی. د سوسیپټر مواد او ډیزاین په دقت سره غوره شوي ترڅو د ذخیره کولو پروسې ځانګړي اړتیاو سره سمون ولري ، لکه د تودوخې حد او کیمیاوي مطابقت.
د کارولو ګټېد لوړ کیفیت شکونکي:
• د فلم کیفیت لوړ شوی: د یونیفورم تودوخې توزیع چمتو کولو سره، susceptors د ثابت ضخامت او جوړښت سره د فلمونو په ترلاسه کولو کې مرسته کوي، کوم چې د سیمی کنډکټر وسیلو د فعالیت لپاره حیاتي دی.
• د پروسې موثریت زیات شوی: د لوړ کیفیت شکونکي د نیمګړتیاوو احتمال کمولو او د کار وړ فلمونو حاصلاتو په زیاتولو سره د MOCVD پروسې عمومي موثریت ته وده ورکوي.
• اوږد عمر او اعتبار: د پایښت لرونکي موادو څخه جوړ شوي سکسپټرونه لکه SiC د اوږدې مودې اعتبار او د ساتنې لګښتونه کموي.
پایله: سوسیپټر د MOCVD پروسې کې یوه لازمي برخه ده ، په مستقیم ډول د پتلي فلم زیرمه کولو کیفیت او موثریت اغیزه کوي. د سم سوسیپټر موادو او ډیزاین غوره کولو سره، د سیمی کنډکټر جوړونکي کولی شي خپلې پروسې غوره کړي، په پایله کې د وسیلو ښه فعالیت او د تولید کم لګښتونه. لکه څنګه چې د لوړ فعالیت بریښنایی وسیلو غوښتنه وده کوي ، د لوړ کیفیت MOCVD susc اهمیت
د پوسټ وخت: اګست-12-2024