د سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل ودې تجهیزاتو اصلاح شوي او ژباړل شوي مینځپانګې

د سیلیکون کاربایډ (SiC) سبسټریټونه ډیری نیمګړتیاوې لري چې د مستقیم پروسس مخه نیسي. د چپ ویفرونو رامینځته کولو لپاره ، یو ځانګړی واحد کرسټال فلم باید د epitaxial پروسې له لارې په SiC سبسټریټ کې وده وکړي. دا فلم د epitaxial پرت په نوم پیژندل کیږي. نږدې ټول SiC وسیلې په اپیټیکسیل موادو کې احساس شوي ، او د لوړ کیفیت هومیپیتاکسیل SiC توکي د SiC وسیلې پراختیا لپاره بنسټ جوړوي. د epitaxial موادو فعالیت مستقیم د SiC وسیلو فعالیت ټاکي.

لوړ اوسني او لوړ اعتبار لرونکي SiC وسایل د سطحې مورفولوژي، د عیب کثافت، د ډوپینګ یونیفارمیت، او د ضخامت یونیفورم باندې سختې اړتیاوې وضع کوي.epitaxialمواد د لوی اندازې، ټیټ عیب کثافت، او د لوړ یونیفورم SiC epitaxy لاسته راوړل د SiC صنعت د پراختیا لپاره مهم شوي دي.

د لوړ کیفیت SiC اپیټیکسي تولید په پرمختللو پروسو او تجهیزاتو تکیه کوي. اوس مهال، د SiC epitaxial ودې لپاره ترټولو پراخه کارول شوي میتود دید کیمیاوي بخار جمع کول (CVD).CVD د epitaxial فلم ضخامت او د ډوپینګ غلظت، د کم عیب کثافت، د منځنۍ ودې کچه، او د اتوماتیک پروسې کنټرول باندې دقیق کنټرول وړاندې کوي، دا د بریالي سوداګریزو غوښتنلیکونو لپاره د باور وړ ټیکنالوژي جوړوي.

د سي سي وي ډي اپيټاکسيعموما ګرم دیوال یا ګرم دیوال CVD تجهیزات کاروي. د لوړې ودې تودوخې (1500-1700 °C) د 4H-SiC کریسټالین شکل دوام تضمینوي. د ګاز جریان سمت او سبسټریټ سطح ترمینځ د اړیکو پراساس ، د دې CVD سیسټمونو عکس العمل چیمبرونه په افقی او عمودی جوړښتونو ویشل کیدی شي.

د SiC epitaxial فرنسونو کیفیت په عمده توګه په دریو اړخونو باندې قضاوت کیږي: د اپیټیکسیل ودې فعالیت (د ضخامت یونیفورمیت، د ډوپینګ یونیفورمیت، د عیب کچه، او د ودې کچه)، د تجهیزاتو د تودوخې فعالیت (د تودوخې / یخولو نرخونو په شمول، اعظمي تودوخه، او د تودوخې یوشانوالی )، او د لګښت اغیزمنتوب (د واحد قیمت او تولید ظرفیت په شمول).

د SiC Epitaxial ودې فرنسونو د دریو ډولونو ترمنځ توپیر

1. د ګرم دیوال افقی CVD سیسټمونه:

-ځانګړتیاوې:عموما د واحد ویفر لوی اندازې ودې سیسټمونه د ګاز فلوټیشن گردش لخوا پرمخ وړل کیږي، د انټرا ویفر میټریکونو ترلاسه کول.

- د نمایندګۍ ماډل:د LPE Pe1O6، په 900 ° C کې د اتوماتیک ویفر بارولو / پورته کولو وړتیا لري. د لوړې ودې نرخونو ، لنډ اپیټیکسیل دورې ، او دوامداره انټرا ویفر او انټر چل فعالیت لپاره پیژندل شوی.

-فعالیت:د 4-6 انچ 4H-SiC epitaxial ویفرونو لپاره د ≤30μm ضخامت سره، دا د انټرا ویفر ضخامت غیر یونیفارم ≤2٪، د ډوپینګ غلظت غیر یونیفارم ≤5٪، د سطحې عیب کثافت ≤1 cm-²، او له عیب څخه پاک د سطحې ساحه (2mm × 2mm حجرې) ≥90%.

-کورني تولیدونکي: شرکتونه لکه Jingsheng Mechatronics، CETC 48، North Huachuang، او Nasset Intelligent ورته واحد-wafer SiC epitaxial تجهیزات د اندازه شوي تولید سره رامینځته کړي.

2. ګرم دیوال سیارې CVD سیسټمونه:

-ځانګړتیاوې:په هره بسته کې د څو-وفر ودې لپاره د سیارې ترتیب اډې وکاروئ، د پام وړ د محصول موثریت ښه کوي.

-نمایندګي موډلونه:د Aixtron د AIXG5WWC (8x150mm) او G10-SiC (9x150mm یا 6x200mm) لړۍ.

-فعالیت:د 6 انچو 4H-SiC epitaxial ویفرونو لپاره د ≤10μm ضخامت سره، دا د انټر ویفر ضخامت انحراف ± 2.5٪، د انټرو ویفر ضخامت غیر یونیفارم 2٪، د انټر ویفر ډوپینګ غلظت انحراف ±5٪، او د انټر ویفر ډوپینګ ترلاسه کوي. غلظت غیر یونیفارم <2٪

-ننګونې:په کورنیو بازارونو کې د بسته بندۍ د تولید ډیټا نشتوالي، د تودوخې او جریان ساحې کنټرول کې تخنیکي خنډونو، او په پراخه پیمانه پلي کولو پرته روان R&D له امله محدود منل.

3. نیم ګرم دیوال عمودی CVD سیسټمونه:

- ځانګړتیاوې:د لوړ سرعت سبسټریټ گردش لپاره بهرنۍ میخانیکي مرستې وکاروئ ، د حد د طبقې ضخامت کم کړئ او د epitaxial ودې کچه ښه کړئ ، د عیب کنټرول کې د اصلي ګټو سره.

- نمایندګي موډلونه:د Nuflare واحد-wafer EPIREVOS6 او EPIREVOS8.

-فعالیت:د 50μm/h څخه د ودې کچه ترلاسه کوي، د 0.1 cm-² څخه ښکته د سطحې عیب کثافت کنټرول، او د انټرا ویفر ضخامت او د ډوپینګ غلظت په ترتیب سره د 1٪ او 2.6٪ غیر یونیفورم.

-کورنی پراختیا:د Xingsandai او Jingsheng Mechatronics په څیر شرکتونو ورته تجهیزات ډیزاین کړي مګر په لویه کچه کارول یې ندي ترلاسه کړي.

لنډیز

د SiC epitaxial ودې تجهیزاتو له دریو جوړښتي ډولونو څخه هر یو جلا ځانګړتیاوې لري او د غوښتنلیک اړتیاو پراساس د بازار ځانګړي برخې نیسي. د ګرم دیوال افقی CVD د خورا ګړندۍ ودې نرخونه او متوازن کیفیت او یونیفورم وړاندې کوي مګر د واحد ویفر پروسس کولو له امله د تولید ټیټ موثریت لري. ګرم دیوال سیارې CVD د پام وړ د تولید موثریت لوړوي مګر د ملټي ویفر تسلسل کنټرول کې ننګونو سره مخ دي. نیم ګرم دیوال عمودی CVD د پیچلي جوړښت سره د عیب کنټرول کې ښه والی لري او پراخه ساتنې او عملیاتي تجربې ته اړتیا لري.

لکه څنګه چې صنعت وده کوي، د دې تجهیزاتو جوړښتونو کې تکراري اصلاح او نوي کول به په زیاتیدونکي توګه د اصالح شوي ترتیبونو المل شي، د ضخامت او نیمګړتیاو اړتیاو لپاره د متنوع اپیټیکسیل ویفر مشخصاتو پوره کولو کې مهم رول لوبوي.

د مختلف SiC Epitaxial ودې فرنسونو ګټې او زیانونه

د دوامداره صنعت پراختیا سره ، دا درې ډوله تجهیزات به تکراري جوړښتي اصلاح او نوي کولو څخه تیریږي ، چې د مخ په زیاتیدونکي اصالح شوي تشکیلاتو لامل کیږي چې د ضخامت او عیب اړتیاو لپاره د مختلف اپیټیکسیل ویفر مشخصاتو سره سمون لري.