پتلی فلمونه چې د سیمیکمډکټر په تولید کې کارول کیږي ټول مقاومت لري، او د فلم مقاومت د وسیلې په فعالیت مستقیم اغیزه لري. موږ معمولا د فلم مطلق مقاومت اندازه نه کوو، مګر د شیټ مقاومت د ځانګړتیا لپاره کاروو.
د شیټ مقاومت او د حجم مقاومت څه شی دی؟
د حجم مقاومت، چې د حجم مقاومت په نوم هم پیژندل کیږي، د موادو یو ارثي ملکیت دی چې دا مشخص کوي چې څومره مواد د بریښنا د جریان مخه نیسي. په عام ډول کارول شوي سمبول ρ استازیتوب کوي، واحد Ω دی.
د شیټ مقاومت چې د شیټ مقاومت په نوم هم پیژندل کیږي، انګلیسي نوم د شیټ مقاومت دی، کوم چې د فی یونټ ساحې د فلم مقاومت ارزښت ته اشاره کوي. د څرګندولو لپاره په عام ډول د روپ یا ρs سمبولونه کارول کیږي، واحد یې Ω/sq یا Ω/□ دی
د دواړو ترمنځ اړیکه دا ده: د شیټ مقاومت = د حجم مقاومت / د فلم ضخامت، دا دی، روپۍ = ρ/t
ولې د شیټ مقاومت اندازه کړئ؟
د فلم د مطلق مقاومت اندازه کول د فلم د جیومیټریک ابعاد (اوږدوالی، عرض، ضخامت) په اړه دقیق پوهه ته اړتیا لري، کوم چې ډیری تغیرات لري او د خورا پتلو یا غیر منظم شکل لرونکي فلمونو لپاره خورا پیچلي دي. د شیټ مقاومت یوازې د فلم ضخامت پورې اړه لري او د پیچلي اندازې محاسبې پرته ګړندي او مستقیم ازمول کیدی شي.
کوم فلمونه د شیټ مقاومت اندازه کولو ته اړتیا لري؟
عموما، کنډکټیو فلمونه او سیمی کنډکټر فلمونه د مربع مقاومت لپاره اندازه کولو ته اړتیا لري، پداسې حال کې چې د موصل فلمونو اندازه کولو ته اړتیا نشته.
په سیمیکمډکټر ډوپینګ کې، د سیلیکون د شیټ مقاومت هم اندازه کیږي.
څنګه د مربع مقاومت اندازه کول؟
د څلور تحقیقاتو میتود عموما په صنعت کې کارول کیږي. د څلور تحقیقاتو میتود کولی شي د مربع مقاومت اندازه کړي چې له 1E-3 څخه تر 1E+9Ω/sq پورې وي. د څلور تحقیقاتو میتود کولی شي د اندازه کولو غلطیو څخه مخنیوی وکړي د تحقیقاتو او نمونې ترمینځ د تماس مقاومت له امله.
د اندازه کولو طریقې:
1) د نمونې په سطحه څلور خطي ترتیب شوي تحقیقات تنظیم کړئ.
2) د دوه خارجي پروبونو تر مینځ یو ثابت جریان پلي کړئ.
3) د دوه داخلي تحقیقاتو ترمنځ د احتمالي توپیر اندازه کولو سره مقاومت معلوم کړئ
RS: د شیټ مقاومت
ΔV: په ولتاژ کې بدلون چې د داخلي تحقیقاتو ترمنځ اندازه کیږي
I: د بهرنی تحقیقاتو تر منځ اوسنی تطبیق شوی
د پوسټ وخت: مارچ-29-2024