د سیلیکون ویفر سیمیکمډکټر تولید تفصيلي پروسه

۶۴۰

لومړی، پولی کریسټالین سیلیکون او ډوپینټونه په واحد کرسټال فرنس کې د کوارټز کروسیبل کې واچوئ، د تودوخې درجه له 1000 درجو څخه لوړه کړئ، او پولی کریسټالین سیلیکون په یوه ټوټه شوي حالت کې ترلاسه کړئ.

640 (1)

د سیلیکون انګوټ وده د پولی کریسټالین سیلیکون په واحد کرسټال سیلیکون جوړولو پروسه ده. وروسته له دې چې پولی کریسټالین سیلیکون په مایع کې تودوخه شي، د تودوخې چاپیریال دقیقا کنټرول کیږي ترڅو د لوړ کیفیت واحد کرسټالونو ته وده ورکړي.

اړوند مفاهیم:
واحد کرسټال وده:وروسته له دې چې د پولی کرسټال سیلیکون محلول تودوخه ثابته شي، د تخم کرسټال ورو ورو د سیلیکون خټکي ته ښکته کیږي (د تخم کرسټال به په سیلیکون خټکي کې هم مینځل کیږي)، او بیا د تخم کرسټال په یو ټاکلي سرعت سره د تخم کرلو لپاره پورته کیږي. پروسه بیا، د تخم کولو پروسې په جریان کې رامینځته شوي بې ځایه شوي د غاړې عملیات له مینځه وړل کیږي. کله چې غاړه کافي اوږدوالي ته راښکته شي ، د واحد کرسټال سیلیکون قطر د هدف ارزښت ته د راښکته کولو سرعت او تودوخې تنظیم کولو سره لوی کیږي ، او بیا مساوي قطر د هدف اوږدوالي ته وده ورکولو لپاره ساتل کیږي. په نهایت کې ، د دې لپاره چې د بې ځایه کیدو مخه ونیول شي د شاته کیدو څخه ، واحد کرسټال انګوټ د بشپړ شوي واحد کرسټال انګوټ ترلاسه کولو لپاره پای ته رسیږي ، او بیا د تودوخې له سړېدو وروسته بهر ایستل کیږي.

د واحد کرسټال سیلیکون چمتو کولو میتودونه:د CZ میتود او FZ میتود. د CZ میتود په لنډ ډول د CZ میتود په نوم یادیږي. د CZ میتود ځانګړتیا دا ده چې دا په مستقیم سلنډر حرارتي سیسټم کې لنډیز شوی ، د ګرافیټ مقاومت تودوخې په کارولو سره پولی کریسټالین سیلیکون په لوړ پاکوالي کوارټز کرسیبل کې مینځل کیږي ، او بیا د ویلډینګ لپاره د خټکي سطح ته د تخم کرسټال داخلوي. د تخم کرسټال ګرځول، او بیا د کریسبل بیرته راګرځول. د تخم کرسټال په ورو ورو پورته پورته کیږي، او د تخم د کرلو، پراخولو، د اوږو څرخولو، د مساوي قطر وده، او د پایښت کولو پروسې وروسته، یو واحد کرسټال سیلیکون ترلاسه کیږي.

د زون خټکي میتود په بیلابیلو سیمو کې د سیمیکمډکټر کرسټالونو خړوبولو او کرسټال کولو لپاره د پولی کریسټالین انګوټونو کارولو میتود دی. حرارتي انرژي د سیمیکمډکټر راډ په یوه پای کې د خټکي زون رامینځته کولو لپاره کارول کیږي ، او بیا د یو واحد کرسټال تخم کرسټال ویلډیډ کیږي. د تودوخې درجه د دې لپاره تنظیم شوې چې د خټکي زون ورو ورو د ریښې بلې غاړې ته حرکت وکړي، او د ټول راډ له لارې، یو واحد کرسټال وده کوي، او د کرسټال سمت د تخم کرسټال سره ورته دی. د زون خټکي میتود په دوه ډوله ویشل شوی: د افقی زون خټکی میتود او عمودی تعلیق زون خټکی میتود. پخوانی په عمده ډول د موادو پاکولو او واحد کرسټال وده لپاره کارول کیږي لکه جرمینیم او GaAs. وروستنۍ دا ده چې په اتموسفیر یا ویکیوم فرنس کې د لوړې فریکونسۍ کویل وکاروئ ترڅو د واحد کرسټال تخم کرسټال او د پولی کریسټال سیلیکون راډ تر مینځ په تماس کې یو پړسیدلی زون رامینځته کړي ، او بیا د یو واحد وده کولو لپاره پړسیدلی زون پورته حرکت وکړي. کرسټال

د سیلیکون ویفر شاوخوا 85٪ د Czochralski میتود لخوا تولید شوي ، او 15٪ سیلیکون ویفرونه د زون خټکي میتود لخوا تولید شوي. د غوښتنلیک په وینا ، واحد کرسټال سیلیکون چې د Czochralski میتود لخوا کرل شوی په عمده ډول د مدغم سرکټ اجزاو تولید لپاره کارول کیږي ، پداسې حال کې چې د زون خټکي میتود لخوا کرل شوي واحد کرسټال سیلیکون په عمده ډول د بریښنا سیمیکمډکټرونو لپاره کارول کیږي. د Czochralski میتود یو بالغ پروسه لري او د لوی قطر واحد کرسټال سیلیکون وده کول اسانه دي. د زون خټکي میتود خټکي له کانټینر سره اړیکه نه نیسي ، ککړیدل اسانه ندي ، لوړ پاکوالی لري او د لوړ بریښنا بریښنایی وسیلو تولید لپاره مناسب دی ، مګر د لوی قطر واحد کرسټال سیلیکون وده کول خورا ستونزمن دي ، او عموما یوازې د 8 انچو یا لږ قطر لپاره کارول کیږي. ویډیو د Czochralski طریقه ښیې.

640 (2)

د واحد کرسټال د ایستلو په پروسه کې د واحد کرسټال سیلیکون راډ د قطر کنټرول کې د ستونزو له امله، د معیاري قطر سیلیکون راډونو ترلاسه کولو لپاره، لکه 6 انچ، 8 انچ، 12 انچ، او داسې نور. کرسټال، د سیلیکون انګوټ قطر به رول او په ځمکه کېښودل شي. د رول کولو وروسته د سیلیکون راډ سطح نرم دی او د اندازې خطا کوچنۍ ده.

640 (3)

د تار پرې کولو پرمختللې ټیکنالوژۍ په کارولو سره ، واحد کرسټال انګوټ د ټوټې کولو تجهیزاتو له لارې د مناسب ضخامت سیلیکون ویفرونو کې پرې کیږي.

640 (4)

د سیلیکون ویفر د کوچني ضخامت له امله ، د پرې کولو وروسته د سیلیکون ویفر څنډه خورا تیزه ده. د څنډې پیس کولو هدف د اسانه څنډه رامینځته کول دي او په راتلونکي چپ تولید کې ماتول اسانه ندي.

640 (6)

LAPPING د دروند انتخاب پلیټ او ښکته کرسټال پلیټ ترمینځ ویفر اضافه کول دي ، او فشار پلي کړئ او د کثافاتو سره وګرځئ ترڅو ویفر فلیټ کړي.

640 (5)

Etching یوه پروسه ده چې د ویفر د سطحې زیان لیرې کوي، او د سطحې پرت چې د فزیکي پروسس په واسطه زیانمن شوي د کیمیاوي محلول په واسطه حل کیږي.

640 (8)

دوه اړخیزه پیس کول یوه پروسه ده چې ویفر فلټر کوي او په سطحه کوچني پروټروسونه لرې کوي.

640 (7)

RTP په څو ثانیو کې د ویفر په چټکۍ سره ګرمولو پروسه ده، ترڅو د ویفر داخلي نیمګړتیاوې یونیفورم وي، فلزي ناپاکۍ له مینځه وړل کیږي، او د سیمیکمډکټر غیر معمولي عملیات مخه نیسي.

640 (11)

پالش کول یوه پروسه ده چې د سطحې دقیق ماشین کولو له لارې د سطح نرموالی تضمینوي. د پالش کولو سلیري او پالش کولو ټوکر کارول ، د مناسب تودوخې ، فشار او گردش سرعت سره یوځای کولی شي د مخکینۍ پروسې لخوا پاتې شوي میخانیکي زیان پرت له مینځه ویسي او د عالي سطحې فلیټیت سره سیلیکون ویفرونه ترلاسه کړي.

640 (9)

د پاکولو هدف د پولش کولو وروسته د سیلیکون ویفر په سطحه پاتې عضوي مادې ، ذرات ، فلزات او نور لرې کول دي ، ترڅو د سیلیکون ویفر سطح پاکوالی تضمین کړي او د راتلونکي پروسې کیفیت اړتیاوې پوره کړي.

640 (10)

د فلیټ او مقاومت ټیسټر د پالش کولو او پاکولو وروسته د سیلیکون ویفر کشف کوي ترڅو ډاډ ترلاسه کړي چې د پالش شوي سیلیکون ویفر ضخامت ، فلیټ ، محلي فلیټ ، منحل ، وارپاج ، مقاومت ، او نور د پیرودونکو اړتیاوې پوره کوي.

640 (12)

د ذراتو شمیرنه د ویفر سطح په دقیق ډول معاینه کولو لپاره یوه پروسه ده ، او د سطحې نیمګړتیاوې او مقدار د لیزر سکرینګ لخوا ټاکل کیږي.

640 (14)

د EPI وده د بخار مرحله کیمیاوي زیرمه کولو سره په پالش شوي سیلیکون ویفرونو کې د لوړ کیفیت سیلیکون واحد کرسټال فلمونو وده کولو پروسه ده.

اړوند مفاهیم:Epitaxial نمو: د یو واحد کرسټال پرت وده ته اشاره کوي چې د ځانګړو اړتیاو سره او ورته کرسټال موقعیت د سبسټریټ په څیر د واحد کرسټال سبسټریټ (سبسټریټ) په څیر ، لکه اصلي کرسټال د یوې برخې لپاره بهر ته غځول کیږي. د Epitaxial ودې ټیکنالوژي د 1950s په وروستیو او د 1960s په لومړیو کې رامینځته شوې. په هغه وخت کې، د لوړې فریکونسۍ او لوړ بریښنا وسیلو جوړولو لپاره، دا اړینه وه چې د راټولونکي لړۍ مقاومت کم کړي، او مواد د لوړ ولتاژ او لوړ جریان سره مقاومت کولو ته اړتیا وه، نو اړینه وه چې یو پتلی لوړ وده وکړي. د مقاومت epitaxial طبقه په ټیټ مقاومت سبسټریټ کې. نوی واحد کرسټال پرت چې په اپیټاکسي ډول وده کوي د چلونکي ډول ، مقاومت او نور له مخې له سبسټریټ څخه توپیر کیدی شي ، او د مختلف ضخامت او اړتیاو څو پرت واحد کرسټال هم وده کولی شي ، پدې توګه د وسیلې ډیزاین او انعطاف پذیري خورا ښه کوي. د وسیلې فعالیت.

640 (13)

بسته بندي د وروستي وړ محصولاتو بسته بندي ده.


د پوسټ وخت: نومبر-05-2024