CVD SiC څه شی دی؟
د کیمیاوي بخار جمع کول (CVD) د ویکیوم ذخیره کولو پروسه ده چې د لوړ پاکوالي جامد موادو تولید لپاره کارول کیږي. دا پروسه اکثرا د سیمی کنډکټر جوړولو په ساحه کې کارول کیږي ترڅو د ویفرونو په سطحه پتلي فلمونه جوړ کړي. د CVD لخوا د SiC چمتو کولو په پروسه کې، سبسټریټ د یو یا ډیرو بې ثباته مخکینیو سره مخ کیږي، کوم چې د مطلوب SiC زیرمه کولو لپاره د سبسټریټ په سطح کې کیمیاوي تعامل کوي. د SiC موادو چمتو کولو ډیری میتودونو څخه ، د کیمیاوي بخاراتو د زیرمو لخوا چمتو شوي محصولات لوړ یونیفورم او پاکوالي لري ، او دا میتود قوي پروسې کنټرول لري.
د CVD SiC مواد د سیمیکمډکټر صنعت کې د کارولو لپاره خورا مناسب دي چې د عالي حرارتي ، بریښنایی او کیمیاوي ملکیتونو ځانګړي ترکیب له امله د لوړ فعالیت موادو ته اړتیا لري. د CVD SiC اجزا په پراخه کچه د ایچنګ تجهیزاتو ، MOCVD تجهیزاتو ، Si epitaxial تجهیزاتو او SiC epitaxial تجهیزاتو ، د ګړندي حرارتي پروسس تجهیزاتو او نورو برخو کې کارول کیږي.
په ټولیز ډول، د CVD SiC اجزاو ترټولو لوی بازار برخه د تجهیزاتو اجزاو ایچنګ دی. د کلورین او فلورین لرونکی اینچنګ ګازونو ته د دې د ټیټ عکس العمل او چالاکۍ له امله ، CVD سیلیکون کاربایډ د اجزاو لپاره مثالی مواد دی لکه د پلازما ایچ کولو تجهیزاتو کې د تمرکز حلقې.
د اینچنګ تجهیزاتو کې د CVD سیلیکون کاربایډ اجزا شامل دي د فوکس حلقې ، د ګاز شاور سرونه ، ټریونه ، د څنډې حلقې او داسې نور. د فوکس حلقه د مثال په توګه په پام کې نیولو سره ، د تمرکز حلقه یوه مهمه برخه ده چې د ویفر څخه بهر ایښودل کیږي او مستقیم د ویفر سره په تماس کې ده. د حلقې څخه تیریدونکي پلازما تمرکز کولو لپاره حلقې ته د ولټاژ پلي کولو سره ، پلازما په ویفر باندې متمرکز کیږي ترڅو د پروسس یوازیتوب ښه کړي.
دودیز تمرکز حلقې د سیلیکون یا کوارټز څخه جوړ شوي دي. د مدغم سرکیټ کوچني کولو پرمختګ سره ، په مدغم سرکټ تولید کې د اینچنګ پروسو غوښتنه او اهمیت مخ په ډیریدو دی ، او د اینچینګ پلازما ځواک او انرژي وده کوي. په ځانګړې توګه، د پلازما انرژی د ظرفیت سره یوځای شوي (CCP) پلازما اینچنګ تجهیزاتو کې لوړ دی، نو د سیلیکون کاربایډ موادو څخه جوړ شوي د تمرکز حلقو کارولو کچه مخ په ډیریدو ده. د CVD سیلیکون کاربایډ فوکس حلقه سکیمیک ډیاګرام لاندې ښودل شوی:
د پوسټ وخت: جون-20-2024