د کرسټال ایستلو پرمهال د ریډیل مقاومت یونیفارمیت کنټرول

اصلي لاملونه چې د واحد کرسټالونو د ریډیل مقاومت په یووالي اغیزه کوي د جامد مایع انٹرفیس فلیټي او د کرسټال وده پرمهال د کوچنۍ الوتکې اغیزې دي.

۶۴۰

د کرسټال د ودې په جریان کې د جامد مایع انٹرفیس د فلیټ کولو اغیزه، که چیرې خټکي په مساوي توګه ودرول شي، د مساوي مقاومت سطح د جامد مایع انٹرفیس دی (په خټکي کې د ناپاکۍ غلظت په کرسټال کې د ناپاکۍ غلظت څخه توپیر لري، نو مقاومت توپیر لري، او مقاومت یوازې د جامد مایع انٹرفیس کې مساوي دی). کله چې ناپاکۍ K<1 وي، خټکي ته د انٹرفیس محدب به د دې لامل شي چې د ریډیل مقاومت په مینځ کې لوړ او په څنډه کې ټیټ وي، پداسې حال کې چې خټکي ته انٹرفیس مقعر برعکس وي. د فلیټ جامد - مایع انٹرفیس د ریډیل مقاومت یونیفورم غوره دی. د کریسټال ایستلو پرمهال د جامد مایع انٹرفیس شکل د فکتورونو لخوا ټاکل کیږي لکه د تودوخې ساحې توزیع او د کرسټال ودې عملیاتي پیرامیټرې. په مستقیم ډول ایستل شوي واحد کرسټال کې، د جامد مایع سطح شکل د فکتورونو د ګډ اغیز پایله ده لکه د فرنس د تودوخې ویش او د کرسټال تودوخې ضایع کول.

۶۴۰

کله چې کرسټالونه راوباسي، په جامد مایع انٹرفیس کې د تودوخې تبادلې څلور اصلي ډولونه شتون لري:

د مرحلې د بدلون پټ تودوخه د سلیکوون د قوي کیدو لخوا خوشې کیږي

د خټکي تودوخې لیږد

د کرسټال له لارې د تودوخې لیږد پورته کیږي

د وړانګو تودوخه د کرسټال له لارې بهر ته ځي
پټه تودوخه د ټول انٹرفیس لپاره یو شان ده، او د هغې اندازه نه بدلیږي کله چې د ودې کچه ثابته وي. (چټک تودوخې لیږد، ګړندی یخ کول، او د ټینګښت کچه ​​لوړه شوې)

کله چې د ودې کرسټال سر د واحد کرسټال فرنس د اوبو یخ شوي تخم کرسټال راډ ته نږدې وي، په کرسټال کې د تودوخې درجه لوی وي، کوم چې د کرسټال اوږدوالی د تودوخې لیږد د سطحې وړانګو تودوخې څخه ډیر کوي، نو د جامد - مایع انٹرفیس د خټکی لپاره محدب.

کله چې کرسټال منځنۍ ته وده وکړي، د تودوخې اوږدوالی لیږد د سطحې وړانګو تودوخې سره مساوي وي، نو انٹرفیس مستقیم دی.

د کرسټال په پای کې، د تودوخې اوږدوالی لیږد د سطحې د وړانګو تودوخې څخه کم دی، چې د جامد مایع انٹرفیس کنډک جوړوي.
د یونیفورم ریډیل مقاومت سره یو واحد کرسټال ترلاسه کولو لپاره، د جامد مایع انٹرفیس باید سطحه شي.
کارول شوي میتودونه په لاندې ډول دي: ①د کریسټال ودې تودوخې سیسټم تنظیم کړئ ترڅو د تودوخې ساحې د ریډیل تودوخې درجه کمه کړي.
②د کریستال ایستلو عملیاتي پیرامیټرونه تنظیم کړئ. د مثال په توګه ، د مینځلو لپاره د انٹرفیس محدب لپاره ، د کرسټال د ټینګښت نرخ لوړولو لپاره د ایستلو سرعت زیات کړئ. په دې وخت کې، په انټرفیس کې د خپریدو د کرسټال کولو پټ تودوخې د زیاتوالي له امله، انٹرفیس ته نږدې د خټکي تودوخې زیاتوالی، په پایله کې د کرسټال د یوې برخې د مینځلو په پایله کې، انٹرفیس فلیټ جوړوي. برعکس، که د ودې انٹرفیس د خټکي په لور مقعر وي، د ودې کچه راټیټه کیدی شي، او خټکی به ورته حجم ټینګ کړي، د ودې انٹرفیس فلیټ جوړوي.
③ د کرسټال یا کروسیبل د گردش سرعت تنظیم کړئ. د کرسټال گردش سرعت زیاتول به د لوړ تودوخې مایع جریان زیات کړي چې د جامد مایع انٹرفیس کې له ښکته څخه پورته ته حرکت کوي، د انټرفیس له محور څخه مقعر ته بدلون ورکوي. د کریبل د گردش له امله د مایع جریان لوري د طبیعي کنویکشن په څیر دی، او اغیز یې د کرسټال گردش سره په بشپړه توګه مخالف دی.
④ د کرسټال قطر ته د کریسبل د داخلي قطر تناسب زیاتول به د جامد مایع انٹرفیس فلیټ کړي، او همدارنګه کولی شي د بې ځایه کیدو کثافت او په کرسټال کې د اکسیجن مینځپانګه کمه کړي. په عمومي توګه، د کریسبل قطر: کرسټال قطر = 3 ~ 2.5: 1.
د وړو الوتکو د نفوذ نفوذ
د کرسټال د ودې جامد مایع انٹرفیس اکثرا په کروسیبل کې د میلټ اسوترم محدودیت له امله منحل کیږي. که چیرې کرسټال د کرسټال ودې په جریان کې په چټکۍ سره پورته شي، یو کوچنی فلیټ الوتکه به د (111) جرمینیم او سیلیکون واحد کرسټالونو جامد مایع انٹرفیس کې ښکاره شي. دا (۱۱۱) اټومي تړلې الوتکه ده چې معمولاً کوچنۍ الوتکه بلل کېږي.
د کوچنۍ الوتکې په ساحه کې د ناپاکۍ غلظت د غیر کوچنۍ الوتکې په ساحه کې د هغه څخه ډیر توپیر لري. د کوچني الوتکې په ساحه کې د ناپاکۍ غیر معمولي ویش دې پیښې ته د کوچني الوتکې اغیز ویل کیږي.
د کوچنۍ الوتکې اغیزې له امله، د کوچنۍ الوتکې ساحې مقاومت به کم شي، او په سختو حالتونو کې به د ناپاک پایپ کورونه ښکاره شي. د دې لپاره چې د کوچني الوتکې اغیزې له امله رامینځته شوي د ریډیل مقاومت انډول له مینځه ویسي ، د جامد مایع انٹرفیس ته اړتیا ده.

د نړۍ له ګوټ ګوټ څخه هر پیرودونکي ته ښه راغلاست ویلو لپاره موږ ته د نورو خبرو اترو لپاره لیدنه وکړئ!

https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/


د پوسټ وخت: جولای 24-2024