د فوتوریزیسټ د پوښ کولو میتودونه عموما په سپن کوټینګ ، ډیپ کوټینګ او رول کوټینګ ویشل شوي چې له دې جملې څخه سپن کوټینګ ترټولو عام کارول کیږي. د سپن کوټینګ په واسطه، فوتوریزیسټ په سبسټریټ کې څاڅکي کیږي، او سبسټریټ د فوتوریزیسټ فلم ترلاسه کولو لپاره په لوړ سرعت سره ګرځیدلی شي. له هغې وروسته، یو قوي فلم په ګرم پلیټ کې د تودوخې له لارې ترلاسه کیدی شي. سپن کوټینګ د الټرا پتلی فلمونو (شاوخوا 20nm) څخه تر 100um پورې موټی فلمونو لپاره مناسب دی. د دې ځانګړتیاوې ښه یونیفارمیت، د ویفرونو تر مینځ یونیفورم فلم ضخامت، لږ نیمګړتیاوې، او داسې نور دي، او یو فلم د لوړ پوښ کولو فعالیت سره ترلاسه کیدی شي.
د سپین کوټینګ پروسه
د سپن کوټینګ په جریان کې ، د سبسټریټ اصلي گردش سرعت د فوتوریزیسټ د فلم ضخامت ټاکي. د گردش سرعت او د فلم ضخامت ترمنځ اړیکه په لاندې ډول ده:
سپن = kTn
په فورمول کې، سپن د گردش سرعت دی؛ T د فلم ضخامت دی؛ k او n مستقل دي.
هغه فکتورونه چې د سپین کوټینګ پروسې اغیزه کوي
که څه هم د فلم ضخامت د اصلي گردش سرعت لخوا ټاکل کیږي، دا د خونې د تودوخې، رطوبت، فوتوریزیسټ ویسکوسیت او د فوتوریزیسټ ډول پورې اړه لري. د فوتوریزیسټ کوټینګ منحنی مختلف ډولونو پرتله کول په 1 شکل کې ښودل شوي.
شکل 1: د فوتوریزیسټ کوټینګ منحنی مختلف ډولونو پرتله کول
د اصلي گردش وخت اغیزه
هرڅومره چې د اصلي گردش وخت لنډ وي ، د فلم ضخامت ډیر وي. کله چې د اصلي گردش وخت زیات شي، فلم پتلی کیږي. کله چې دا د 20s څخه ډیر شي، د فلم ضخامت تقریبا بدل نه پاتې کیږي. له همدې امله، د اصلي گردش وخت معمولا د 20 ثانیو څخه ډیر ټاکل کیږي. د اصلي گردش وخت او د فلم ضخامت ترمنځ اړیکه په 2 شکل کې ښودل شوي.
شکل 2: د اصلي گردش وخت او د فلم ضخامت ترمنځ اړیکه
کله چې فوتوریزیسټ په سبسټریټ کې غورځول کیږي، حتی که د اصلي گردش سرعت یو شان وي، د ډریپ کولو پرمهال د سبسټریټ گردش سرعت به د وروستي فلم ضخامت اغیزه وکړي. د فوټوریزیسټ فلم ضخامت د څاڅکو په جریان کې د سبسټریټ گردش سرعت له زیاتوالي سره وده کوي ، کوم چې د محلول تبخیر د نفوذ له امله رامینځته کیږي کله چې فوټوریزیسټ د څاڅکو وروسته خلاصیږي. شکل 3 د فلم ضخامت او اصلي گردش سرعت تر مینځ اړیکه ښیې چې د فوتوریزیسټ ډریپ کولو په جریان کې د مختلف سبسټریټ گردش سرعت کې. دا د ارقامو څخه لیدل کیدی شي چې د ډریپ کولو سبسټریټ د گردش سرعت په زیاتوالي سره، د فلم ضخامت په چټکۍ سره بدلیږي، او توپیر په ساحه کې د ټیټ اصلي گردش سرعت سره ډیر څرګند دی.
شکل 3: د فلم ضخامت او د اصلي گردش سرعت تر مینځ اړیکه په مختلف سبسټریټ گردش سرعت کې د فوتوریزیسټ توزیع کولو پرمهال
د پوښ کولو پرمهال د رطوبت اغیز
کله چې رطوبت کم شي، د فلم ضخامت زیاتیږي، ځکه چې د رطوبت کمښت د محلول تبخیر هڅوي. په هرصورت، د فلم ضخامت ویش د پام وړ بدلون نه کوي. شکل 4 د پوښ کولو پرمهال د رطوبت او د فلم ضخامت ویش تر مینځ اړیکه ښیې.
شکل 4: د پوښ کولو پرمهال د رطوبت او د فلم ضخامت ویش ترمنځ اړیکه
د پوښ کولو پرمهال د تودوخې اغیز
کله چې د کور دننه تودوخه لوړه شي، د فلم ضخامت زیاتیږي. دا د 5 شکل څخه لیدل کیدی شي چې د فوتوریزیسټ فلم ضخامت ویش له محدب څخه مقعر ته بدلیږي. په ارقامو کې منحني دا هم ښیي چې ترټولو لوړ یونیفورم ترلاسه کیږي کله چې د کور دننه تودوخه 26 درجې سانتي ګراد وي او د فوتوریزیسټ تودوخه 21 درجې سانتي ګراد وي.
شکل 5: د تودوخې او د فلم ضخامت د توزیع ترمینځ اړیکه د پوښ کولو پرمهال
د کوټ کولو پرمهال د وتلو سرعت اغیزه
6 شکل د اخراج سرعت او د فلم ضخامت ویش تر مینځ اړیکه ښیې. د اخراج په نشتوالي کې ، دا ښیې چې د ویفر مرکز ضعیف کیږي. د اخراج سرعت زیاتول به یونیفورم ته وده ورکړي، مګر که دا خورا ډیر شي، یونیفارم به کم شي. دا لیدل کیدی شي چې د وتلو سرعت لپاره غوره ارزښت شتون لري.
شکل 6: د اخراج سرعت او د فلم ضخامت ویش ترمنځ اړیکه
د HMDS درملنه
د دې لپاره چې د فوتوریزیسټ ډیر کوت وړ شي، ویفر ته اړتیا ده چې د هیکسامیتیلډیسیلازین (HMDS) سره درملنه وشي. په ځانګړي توګه کله چې رطوبت د سی آکسایډ فلم سطح سره وصل وي ، سیلانول رامینځته کیږي ، کوم چې د فوتوریزیسټ چپکونکي کموي. د لندبل لرې کولو او سلانول تخریب کولو لپاره ، ویفر معمولا 100-120 درجې C ته تودوخه کیږي ، او د کیمیاوي عکس العمل لامل کیدو لپاره مسټ HMDS معرفي کیږي. د عکس العمل میکانیزم په 7 شکل کې ښودل شوی. د HMDS درملنې له لارې، د کوچني تماس زاویه سره د هایدروفوبیک سطح د لوی تماس زاویه سره په هایدروفوبیک سطح بدلیږي. د ویفر ګرم کول کولی شي لوړ فوټوریزیسټ چپک ترلاسه کړي.
شکل 7: د HMDS غبرګون میکانیزم
د HMDS درملنې اغیز د تماس زاویه اندازه کولو سره لیدل کیدی شي. 8 شکل د HMDS درملنې وخت او د تماس زاویه (د درملنې د حرارت درجه 110 درجې) ترمنځ اړیکه ښیې. سبسټریټ سی دی، د HMDS درملنې وخت د 1min څخه ډیر دی، د تماس زاویه د 80 ° څخه ډیره ده، او د درملنې اغیز مستحکم دی. 9 شکل د HMDS درملنې تودوخې او د تماس زاویه (د درملنې وخت 60s) ترمنځ اړیکه ښیې. کله چې د تودوخې درجه له 120 ℃ څخه لوړه شي، د تماس زاویه کمیږي، دا په ګوته کوي چې HMDS د تودوخې له امله تخریب کیږي. له همدې امله، د HMDS درملنه معمولا په 100-110℃ کې ترسره کیږي.
شکل 8: د HMDS درملنې وخت ترمنځ اړیکه
او د تماس زاویه (د درملنې تودوخه 110 ℃)
شکل 9: د HMDS درملنې تودوخې او د تماس زاویه ترمنځ اړیکه (د درملنې وخت 60s)
د HMDS درملنه په سیلیکون سبسټریټ کې د اکسایډ فلم سره ترسره کیږي ترڅو د فوتوریزیسټ نمونه جوړه کړي. د اکسایډ فلم بیا د بفر اضافه کولو سره د هایدروفلوریک اسید سره مینځل کیږي، او دا معلومه شوه چې د HMDS درملنې وروسته، د فوتوریزیسټ بڼه د سقوط څخه ساتل کیدی شي. 10 شکل د HMDS درملنې اغیز ښیې (د نمونې اندازه 1um ده).
شکل 10: د HMDS درملنې اغیز (د نمونې اندازه 1um ده)
پری بیک کول
په ورته سرعت کې، د پری بیک کولو تودوخه لوړه وي، د فلم ضخامت کوچنی وي، کوم چې دا په ګوته کوي چې د پری بیک کولو تودوخه لوړه وي، ډیر محلول تبخیر کیږي، چې په پایله کې د فلم ضخامت ډیریږي. 11 شکل د پخولو دمخه د تودوخې او ډیل د A پیرامیټر ترمینځ اړیکه ښیې. A پیرامیټر د فوتو حساسیت اجنټ غلظت په ګوته کوي. لکه څنګه چې د ارقامو څخه لیدل کیدی شي، کله چې د پخولو دمخه د تودوخې درجه د 140 درجو څخه پورته پورته شي، د A پیرامیټر کمیږي، دا په ګوته کوي چې د فوتو حساس اجنټ له دې څخه په لوړه تودوخه کې تخریب کیږي. شکل 12 د پخولو دمخه په مختلف تودوخې کې د سپیکٹرل لیږد ښیي. په 160 ° C او 180 ° C کې، د لیږد زیاتوالی د 300-500nm طول موج کې لیدل کیدی شي. دا تاییدوي چې فوتو حساسیت په لوړه تودوخه کې پخیږي او ماتیږي. د پخولو دمخه تودوخه یو مطلوب ارزښت لري، کوم چې د رڼا ځانګړتیاوو او حساسیت لخوا ټاکل کیږي.
11 شکل: د پخولو دمخه د تودوخې او ډیل د A پیرامیټر ترمینځ اړیکه
(د OFPR-800/2 اندازه شوی ارزښت)
12 شکل: د تودوخې د پخولو په مختلف تودوخې کې د سپیکٹرل لیږد
(OFPR-800، 1um د فلم ضخامت)
په لنډه توګه، د سپن کوټینګ طریقه ځانګړې ګټې لري لکه د فلم ضخامت دقیق کنټرول، د لوړ لګښت فعالیت، د نرم پروسې شرایط، او ساده عملیات، نو دا د ککړتیا کمولو، د انرژۍ سپمولو، او د لګښت فعالیت ښه کولو کې د پام وړ اغیزې لري. په دې وروستیو کلونو کې، د سپن کوټ کول په زیاتیدونکي توګه پاملرنه ترلاسه کوي، او د هغې غوښتنلیک په تدریجي ډول مختلفو برخو ته خپور شوی.
د پوسټ وخت: نومبر-27-2024