د سیلیکون کاربایډ کوټینګ پیژندنه
زموږ د کیمیاوي بخار ډیپوزیشن (CVD) سیلیکون کاربایډ (SiC) کوټینګ خورا دوامدار او د اغوستلو په وړاندې مقاومت لرونکی پرت دی ، د چاپیریال لپاره مثالی چې د لوړ سنګر او حرارتي مقاومت غوښتنه کوي.د سیلیکون کاربایډ پوښد CVD پروسې له لارې په مختلفو فرعي برخو کې په پتلو پرتونو کې پلي کیږي، د غوره فعالیت ځانګړتیاوې وړاندې کوي.
کلیدي ځانګړتیاوې
● - استثنایی پاکوالی: د يو الټرا خالص ترکيب بوستان99.99995%زموږد SiC پوښد حساس سیمیکمډکټر عملیاتو کې د ککړتیا خطرونه کموي.
●-لوړ مقاومت: د اغوستلو او زنګ دواړو لپاره عالي مقاومت ښیې ، دا د ننګونې کیمیاوي او پلازما ترتیباتو لپاره مناسب کوي.
● - لوړ حرارتي چلښت: د دې د غوره حرارتي ملکیتونو له امله د خورا تودوخې لاندې د باور وړ فعالیت تضمینوي.
● - ابعادي ثبات: د تودوخې په پراخه لړۍ کې ساختماني بشپړتیا ساتي، د دې د ټیټ حرارتي توسعې ضمیمه څخه مننه.
● - د سختوالي وده: د سختۍ درجې سره40 GPa، زموږ د SiC کوټ د پام وړ اغیزو او خړوبیدو سره مقاومت کوي.
●-سمه سطحه پای: د عکس په څیر پای چمتو کوي، د ذراتو تولید کموي او عملیاتي موثریت لوړوي.
غوښتنلیکونه
سیمیکرا د SiC پوښاکد سیمیکمډکټر تولید په مختلفو مرحلو کې کارول کیږي، په شمول:
●-د LED چپ جوړونه
●-د پولیسیلیکون تولید
●-د سیمی کنډکټر کرسټال وده
●-سیلیکون او SiC Epitaxy
●-د تودوخې اکسیډریشن او خپریدو (TO&D)
موږ د SiC لیپت شوي اجزا چمتو کوو چې د لوړ ځواک اسوسټاټیک ګرافیټ څخه جوړ شوي ، د کاربن فایبر تقویه شوي کاربن او 4N بیا جوړ شوي سیلیکون کاربایډ ، د مایع شوي بستر ریکټورونو لپاره جوړ شوي ،د STC-TCS کنورټرونه، د CZ واحد انعکاس کونکي، د SiC ویفر کشتۍ، SiCwafer پیډل، SiC ویفر ټیوب، او ویفر کیریرونه چې په PECVD، سیلیکون ایپیټیکسي، MOCVD کې کارول کیږي.
ګټې
●- تمدید شوی عمر: د پام وړ د تجهیزاتو کمولو وخت او د ساتنې لګښتونه کموي، د ټول تولید موثریت لوړوي.
● - ښه کیفیت: د سیمی کنډکټر پروسس کولو لپاره اړین لوړ پاکوالی سطحونه ترلاسه کوي، پدې توګه د محصول کیفیت لوړوي.
● - د موثریت زیاتوالی: د تودوخې او CVD پروسې غوره کوي، په پایله کې د لنډ دورې وخت او لوړ حاصلات.
تخنیکي مشخصات
● - جوړښت: FCC β پړاو پولی کریسټالین، په عمده توګه (111) متمرکز
●-کثافت: 3.21 g/cm³
●-سختوالی: 2500 Vickes سختۍ (500g بار)
● - د فریکچر سختۍ: 3.0 MPa·m1/2
●-د تودوخې پراخوالی کوفیینټ (100-600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● - لچک لرونکي ماډل (1300℃):۴۳۵ GPa
● - د فلم د عادي ضخامت:100 µm
●-د سطحې سختوالی:2-10 µm
د پاکوالي ډاټا (د ګلو ډیسچارج ماس سپیکٹروسکوپي لخوا اندازه کیږي)
| عنصر | ppm | عنصر | ppm |
| Li | <0.001 | Cu | <0.01 |
| Be | <0.001 | Zn | <0.05 |
| ال | <0.04 | Ga | <0.01 |
| P | <0.01 | Ge | <0.05 |
| S | <0.04 | As | <0.005 |
| K | <0.05 | In | <0.01 |
| Ca | <0.05 | Sn | <0.01 |
| Ti | <0.005 | Sb | <0.01 |
| V | <0.001 | W | <0.05 |
| Cr | <0.05 | Te | <0.01 |
| Mn | <0.005 | Pb | <0.01 |
| Fe | <0.05 | Bi | <0.05 |
| Ni | <0.01 |
|
