6 انچه n-type sic substrate

لنډ تفصیل:

6-inch n-type SiC سبسټریټ یو سیمیکمډکټر مواد دی چې د 6 انچ ویفر اندازې په کارولو سره مشخص کیږي ، کوم چې د وسیلو شمیر ډیروي چې د یوې لویې سطحې ساحې په یوه واحد ویفر کې تولید کیدی شي ، پدې توګه د وسیلې کچې لګښتونه کموي. . د 6-inch n-type SiC سبسټریټ پراختیا او پلي کول د ټیکنالوژیو پرمختګ څخه ګټه اخیستې لکه د RAF ودې میتود ، کوم چې د بې ځایه کیدو او موازي لارښوونو سره د کرسټالونو په پرې کولو او د کرسټالونو بیا وده کولو سره تخریب کموي ، پدې توګه د سبسټریټ کیفیت ښه کوي. د دې سبسټریټ پلي کول د تولید موثریت ښه کولو او د SiC بریښنا وسیلو لګښتونو کمولو لپاره خورا مهم دی.

 


د محصول تفصیل

د محصول ټګ

د سیلیکون کاربایډ (SiC) واحد کرسټال مواد د لوی بانډ ګیپ پلنوالی لري (~ Si 3 ځله) ، لوړ حرارتي چالکتیا (~ Si 3.3 ځله یا GaAs 10 ځله) ، د الیکترون سنتریت د مهاجرت لوړه کچه (~ Si 2.5 ځله) ، لوړ برقی برقی ساحه (~Si 10 ځله یا GaAs 5 ځله) او نور غوره ځانګړتیاوې.

د دریم نسل سیمی کنډکټر موادو کې په عمده ډول SiC، GaN، الماس، او نور شامل دي، ځکه چې د دې د بانډ ګیپ پلنوالی (Eg) د 2.3 الکترون وولټ (eV) څخه ډیر یا مساوي دی، چې د پراخه بینډ ګپ سیمیکمډکټر موادو په نوم هم پیژندل کیږي. د لومړي او دوهم نسل سیمیکمډکټر موادو سره پرتله کول ، د دریم نسل سیمی کنډکټر توکي د لوړې تودوخې چالکتیا ، لوړ برقی برقی ساحه ، د لوړ سنتر شوي بریښنایی مهاجرت نرخ او د لوړې اړیکې انرژي ګټې لري ، کوم چې کولی شي د لوړې کچې لپاره د عصري بریښنایی ټیکنالوژۍ نوې اړتیاوې پوره کړي. د حرارت درجه، لوړ ځواک، لوړ فشار، لوړ فریکونسۍ او د وړانګو مقاومت او نور سخت شرایط. دا د ملي دفاع، هوايي چلند، فضا، د تیلو اکتشاف، نظری ذخیره، او داسې نورو برخو کې د غوښتنلیک مهم امکانات لري، او کولی شي په ډیری ستراتیژیکو صنعتونو لکه د براډ بانډ مخابراتو، لمریزې انرژۍ، د موټرو تولید، کې د انرژۍ ضایع له 50٪ څخه ډیر کم کړي. د سیمی کنډکټر ر lightingا ، او سمارټ گرډ ، او کولی شي د تجهیزاتو حجم له 75٪ څخه ډیر راټیټ کړي ، کوم چې د بشري ساینس او ​​​​ټیکنالوژۍ پرمختګ لپاره د مهم اهمیت څخه دی.

سیمیسیرا انرژي کولی شي پیرودونکو ته د لوړ کیفیت کنډکټیو (کنډکټیو) ، نیمه انسولیټینګ (نیم موصلیت) ، HPSI (د لوړ پاکوالي نیمه موصلیت) سیلیکون کاربایډ سبسټریټ چمتو کړي. سربیره پردې ، موږ کولی شو پیرودونکو ته همغږي او متفاوت سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل شیټونه چمتو کړو؛ موږ کولی شو د پیرودونکو ځانګړو اړتیاو سره سم د ایپیټیکسیل شیټ تنظیم کړو ، او د لږترلږه امر مقدار شتون نلري.

د اساسي محصول مشخصات

اندازه

 ۶-انچه
قطر 150.0mm + 0mm/-0.2mm
د سطحې اورینشن د محور څخه لرې: 4° په لور<1120>±0.5°
د لومړني فلیټ اوږدوالی 47.5mm1.5mm
لومړني فلیټ اورینټیشن <1120>±1.0°
ثانوي فلیټ هیڅ نه
موټی 350.0um±25.0um
پولیټیپ 4H
کنډک ډول n-ډول

د کریسټال کیفیت مشخصات

۶-انچه
توکي د P-MOS درجه د P-SBD درجه
مقاومت 0.015Ω·cm-0.025Ω·cm
پولیټیپ هیڅ اجازه نشته
د مایکروپیپ کثافت ≤0.2/cm2 ≤0.5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (د UV-PL-355nm لخوا اندازه شوی) ≤0.5% مساحت ≤1% ساحه
هیکس پلیټونه د لوړ شدت رڼا لخوا هیڅ اجازه نشته
د لوړ شدت رڼا لخوا بصری کاربن شاملول مجموعي ساحه≤0.05%
微信截图_20240822105943

مقاومت

پولیټیپ

6 lnch n-type sic substrate (3)
6 lnch n-type sic substrate (4)

BPD&TSD

6 lnch n-type sic substrate (5)
SiC wafers

  • مخکینی:
  • بل: