د سیمیسیرا د 6 انچ نیمه انسولیټینګ HPSI SiC Wafers د عصري سیمی کنډکټر ټیکنالوژۍ سختې غوښتنې پوره کولو لپاره ډیزاین شوي. د استثنایی پاکوالي او دوام سره ، دا ویفرونه د لوړ موثریت بریښنایی اجزاو رامینځته کولو لپاره د باور وړ بنسټ په توګه کار کوي.
دا HPSI SiC ویفرونه د دوی د غوره تودوخې چلونکي او بریښنایی موصلیت لپاره پیژندل شوي ، کوم چې د بریښنا وسیلو او لوړ فریکونسۍ سرکټونو فعالیت مطلوب کولو لپاره مهم دي. د نیمه موصلیت ملکیتونه د بریښنایی مداخلې کمولو او د وسیلې موثریت اعظمي کولو کې مرسته کوي.
د لوړ کیفیت تولید پروسې د سیمیسیرا لخوا ګمارل شوي ډاډ ورکوي چې هر ویفر یونیفورم ضخامت او لږترلږه سطحي نیمګړتیاوې لري. دا دقیقیت د پرمختللي غوښتنلیکونو لپاره اړین دی لکه د راډیو فریکوینسي وسیلو ، بریښنا انورټرونو ، او LED سیسټمونو ، چیرې چې فعالیت او دوام کلیدي فاکتورونه دي.
د عصري تولید تخنیکونو په کارولو سره، سیمیسیرا ویفرونه چمتو کوي چې نه یوازې د صنعت معیارونو سره مطابقت لري. د 6 انچ اندازه د تولید اندازه کولو کې انعطاف وړاندیز کوي ، د سیمی کنډکټر سکتور کې دواړه څیړنې او سوداګریز غوښتنلیکونو ته پاملرنه کوي.
د سیمیسیرا د 6 انچ نیمه انسولیټینګ HPSI SiC Wafers غوره کول پدې معنی دي چې په داسې محصول کې پانګونه کول چې ثابت کیفیت او فعالیت وړاندې کوي. دا ویفرونه د سیمیسیرا د ژمنې یوه برخه ده چې د نوښت لرونکي توکو او پیچلي هنرونو له لارې د سیمی کنډکټر ټیکنالوژۍ وړتیاو ته وده ورکوي.
توکي | تولید | څیړنه | ډمی |
کرسټال پارامترونه | |||
پولیټیپ | 4H | ||
د سطحې د اوریدو تېروتنه | <11-20>4±0.15° | ||
بریښنایی پیرامیټونه | |||
ډوپانت | د نايتروجن ډول | ||
مقاومت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
میخانیکي پارامترونه | |||
قطر | 150.0±0.2mm | ||
موټی | 350±25 μm | ||
لومړني فلیټ لوري | [1-100]±5° | ||
لومړني فلیټ اوږدوالی | 47.5±1.5mm | ||
ثانوي فلیټ | هیڅ نه | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
رکوع | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
مخکی (سی-مخ) خړپړتیا (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
جوړښت | |||
د مایکروپیپ کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
فلزي ناپاکۍ | ≤5E10اټومونه/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
د مخکینۍ کیفیت | |||
مخکی | Si | ||
د سطحې پای | سی-مخ CMP | ||
ذرات | ≤60ea/وافر (سایز≥0.3μm) | NA | |
سکریچونه | ≤5ea/mm مجموعي اوږدوالی ≤ قطر | مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA |
د نارنجي پوټکي / خندقونه / داغونه / درزونه / درزونه / ککړتیا | هیڅ نه | NA | |
د څنډې چپس/انډینټ/فریکچر/هیکس پلیټونه | هیڅ نه | ||
پولی ډوله سیمې | هیڅ نه | مجموعي ساحه≤20% | مجموعي ساحه≤30% |
د مخ لیزر نښه کول | هیڅ نه | ||
بیرته کیفیت | |||
بیرته پای | C-مخ CMP | ||
سکریچونه | ≤5ea/mm، مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA | |
د شا عیبونه (د څنډه چپس/انډینټ) | هیڅ نه | ||
شاته خړپړتیا | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
شاته لیزر نښه کول | 1 ملي متره (له پورتنۍ څنډې څخه) | ||
څنډه | |||
څنډه | چمفر | ||
بسته بندي | |||
بسته بندي | Epi د ویکیوم بسته بندۍ سره چمتو دی ملټي ویفر کیسټ بسته بندي | ||
*یادښتونه: "NA" پدې معنی چې هیڅ غوښتنه نشته هغه توکي چې ذکر شوي ندي ممکن SEMI-STD ته مراجعه وکړي. |