د سیلیکون کاربایډ (SiC) واحد کرسټال مواد د لوی بانډ ګیپ پلنوالی لري (~ Si 3 ځله) ، لوړ حرارتي چالکتیا (~ Si 3.3 ځله یا GaAs 10 ځله) ، د الیکترون سنتریت د مهاجرت لوړه کچه (~ Si 2.5 ځله) ، لوړ برقی برقی ساحه (~Si 10 ځله یا GaAs 5 ځله) او نور غوره ځانګړتیاوې.
سیمیسیرا انرژي کولی شي پیرودونکو ته د لوړ کیفیت کنډکټیو (کنډکټیو) ، نیمه انسولیټینګ (نیم موصلیت) ، HPSI (د لوړ پاکوالي نیمه موصلیت) سیلیکون کاربایډ سبسټریټ چمتو کړي. سربیره پردې ، موږ کولی شو پیرودونکو ته همغږي او متفاوت سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسیل شیټونه چمتو کړو؛ موږ کولی شو د پیرودونکو ځانګړو اړتیاو سره سم د ایپیټیکسیل شیټ هم تنظیم کړو ، او د لږترلږه امر مقدار شتون نلري.
| توکي | تولید | څیړنه | ډمی |
| کرسټال پارامترونه | |||
| پولیټیپ | 4H | ||
| د سطحې د اوریدو تېروتنه | <11-20>4±0.15° | ||
| بریښنایی پیرامیټونه | |||
| ډوپانت | د نايتروجن ډول | ||
| مقاومت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| میخانیکي پارامترونه | |||
| قطر | 99.5 - 100mm | ||
| موټی | 350±25 μm | ||
| لومړني فلیټ لوري | [1-100]±5° | ||
| لومړني فلیټ اوږدوالی | 32.5±1.5mm | ||
| ثانوي فلیټ موقعیت | د لومړني فلیټ څخه 90° CW ±5°. سیلیکون مخ پورته | ||
| ثانوي فلیټ اوږدوالی | 18±1.5mm | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LTV | ≤2 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | NA |
| رکوع | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤20 μm | ≤45 μm | ≤50 μm |
| مخکی (سی-مخ) خړپړتیا (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| جوړښت | |||
| د مایکروپیپ کثافت | ≤1 ea/cm2 | ≤5 ea/cm2 | ≤10 ea/cm2 |
| فلزي ناپاکۍ | ≤5E10اټومونه/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| د مخکینۍ کیفیت | |||
| مخکی | Si | ||
| د سطحې پای | سی-مخ CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/وافر (سایز≥0.3μm) | NA | |
| سکریچونه | ≤2ea/mm مجموعي اوږدوالی ≤ قطر | مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA |
| د نارنجي پوټکي / خندقونه / داغونه / درزونه / درزونه / ککړتیا | هیڅ نه | NA | |
| د څنډې چپس/انډینټ/فریکچر/هیکس پلیټونه | هیڅ نه | NA | |
| پولی ډوله سیمې | هیڅ نه | مجموعي ساحه≤20% | مجموعي ساحه≤30% |
| د مخ لیزر نښه کول | هیڅ نه | ||
| بیرته کیفیت | |||
| بیرته پای | C-مخ CMP | ||
| سکریچونه | ≤5ea/mm، مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA | |
| د شا عیبونه (د څنډه چپس/انډینټ) | هیڅ نه | ||
| شاته خړپړتیا | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| شاته لیزر نښه کول | 1 ملي متره (له پورتنۍ څنډې څخه) | ||
| څنډه | |||
| څنډه | چمفر | ||
| بسته بندي | |||
| بسته بندي | داخلي کڅوړه د نایتروجن څخه ډکه شوې او بهرنۍ کڅوړه خالي ده. ملټي ویفر کیسټ، ایپي چمتو دی. | ||
| *یادښتونه: "NA" پدې معنی چې هیڅ غوښتنه نشته هغه توکي چې ذکر شوي ندي ممکن SEMI-STD ته مراجعه وکړي. | |||
