Semicera 3C-SiC Wafer Substrates د راتلونکي نسل بریښنا بریښنایی او لوړ فریکونسۍ وسیلو لپاره قوي پلیټ فارم چمتو کولو لپاره انجینر شوي. د غوره حرارتي ملکیتونو او بریښنایی ځانګړتیاو سره ، دا سبسټریټونه د عصري ټیکنالوژۍ غوښتنې اړتیاو پوره کولو لپاره ډیزاین شوي.
د سیمیسیرا وافر سبسټریټ 3C-SiC (مکعب سیلیکون کاربایډ) جوړښت ځانګړي ګټې وړاندې کوي ، پشمول د نورو سیمیک کنډکټر موادو په پرتله د لوړ حرارتي چالکتیا او ټیټ حرارتي توسع کوفییفیټ. دا دوی د وسیلو لپاره غوره انتخاب کوي چې د خورا تودوخې او لوړ بریښنا شرایطو لاندې کار کوي.
د لوړ بریښنایی بریک ډاون ولټاژ او غوره کیمیاوي ثبات سره ، د Semicera 3C-SiC Wafer Substrates د اوږدمهاله فعالیت او اعتبار تضمین کوي. دا ملکیتونه د غوښتنلیکونو لپاره مهم دي لکه د لوړې فریکونسۍ رادار ، سالډ سټیټ ر lightingا ، او بریښنا انورټرونه ، چیرې چې موثریت او دوام خورا مهم دی.
کیفیت ته د سیمیسیرا ژمنتیا د دوی د 3C-SiC Wafer Substrates د پیچلي تولید پروسې کې منعکس کیږي، چې په هره بسته کې یووالي او ثبات تضمینوي. دا دقیقیت په دوی باندې جوړ شوي بریښنایی وسیلو عمومي فعالیت او اوږد عمر کې مرسته کوي.
د Semicera 3C-SiC Wafer Substrates په غوره کولو سره، جوړونکي د عصري موادو ته السرسی ترلاسه کوي چې د کوچنیو، ګړندي، او ډیر اغیزمن بریښنایی برخو پراختیا ته وړتیا ورکوي. سیمیسیرا د باور وړ حلونو چمتو کولو سره د ټیکنالوژیکي نوښت ملاتړ ته دوام ورکوي چې د سیمی کنډکټر صنعت پرمختللې غوښتنې پوره کوي.
| توکي | تولید | څیړنه | ډمی |
| کرسټال پارامترونه | |||
| پولیټیپ | 4H | ||
| د سطحې د اوریدو تېروتنه | <11-20>4±0.15° | ||
| برقی پیرامیټونه | |||
| ډوپانت | د نايتروجن ډول | ||
| مقاومت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| میخانیکي پارامترونه | |||
| قطر | 150.0±0.2mm | ||
| موټی | 350±25 μm | ||
| لومړني فلیټ لوري | [1-100]±5° | ||
| لومړني فلیټ اوږدوالی | 47.5±1.5mm | ||
| ثانوي فلیټ | هیڅ نه | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| رکوع | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| مخکی (سی-مخ) خړپړتیا (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| جوړښت | |||
| د مایکروپیپ کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| فلزي ناپاکۍ | ≤5E10اټومونه/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| د مخکینۍ کیفیت | |||
| مخکی | Si | ||
| د سطحې پای | سی-مخ CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/وافر (سایز≥0.3μm) | NA | |
| سکریچونه | ≤5ea/mm مجموعي اوږدوالی ≤ قطر | مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA |
| د نارنجي پوټکي / خندقونه / داغونه / درزونه / درزونه / ککړتیا | هیڅ نه | NA | |
| د څنډې چپس/انډینټ/فریکچر/هیکس پلیټونه | هیڅ نه | ||
| پولی ډوله سیمې | هیڅ نه | مجموعي ساحه≤20% | مجموعي ساحه≤30% |
| د مخ لیزر نښه کول | هیڅ نه | ||
| بیرته کیفیت | |||
| بیرته پای | C-مخ CMP | ||
| سکریچونه | ≤5ea/mm، مجموعي اوږدوالی≤2*قطر | NA | |
| د شا عیبونه (د څنډه چپس/انډینټ) | هیڅ نه | ||
| شاته خړپړتیا | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| شاته لیزر نښه کول | 1 ملي متره (له پورتنۍ څنډې څخه) | ||
| څنډه | |||
| څنډه | چمفر | ||
| بسته بندي | |||
| بسته بندي | Epi د ویکیوم بسته بندۍ سره چمتو دی ملټي ویفر کیسټ بسته بندي | ||
| *یادښتونه: "NA" پدې معنی چې هیڅ غوښتنه نشته هغه توکي چې ذکر شوي ندي ممکن SEMI-STD ته مراجعه وکړي. | |||
